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設備簡介

此設備主要應用激光在晶圓表面刻線開槽作業(yè)。

設備特點

1.采用短脈沖納秒紫外激光，更好減小熔敷、熱影響及低毛刺，大大提升提切割品質(zhì)；

2.獨有控光軟件技術，可變切割槽寬度，并可以對應200um內(nèi)厚度晶圓產(chǎn)品進行全切功能，應用更靈活方便；

3.配備配備雙CCD視覺系統(tǒng)，搭配380度旋轉馬達，高速的圖像識別能力、自動影像識別、邊緣識別、切痕檢查、自動校正切割道位置視覺識別處理；

4.激光功率實時監(jiān)測反饋，保證更穩(wěn)定激光功率輸出；

5.移動重復精度(≦±1um)；

6.雙涂布及清結系統(tǒng)，提高設備加工處理效率。