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晶圓的激光打標(biāo)設(shè)備品牌
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設(shè)備簡(jiǎn)介
此設(shè)備主要應(yīng)用激光在晶圓表面打標(biāo)作業(yè)
設(shè)備特點(diǎn)
1.高精密直線電機(jī)，高速度X-Y運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，移動(dòng)精度≤1um；
2.可實(shí)現(xiàn)8~12 inch 的晶圓打標(biāo)；
3.雙提籃設(shè)計(jì), 實(shí)現(xiàn)換料無(wú)等待；
4.紫外納秒激光器，掃描速度max 12000mm/s；
5.WPH:120。
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