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XRD系列晶向定位

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型號(hào)

XRD-晶向定位

品牌

馬爾文帕納科

產(chǎn)地

荷蘭

樣本

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馬爾文帕納科

白金會(huì)員

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第19年

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XRD 系列

晶圓和鑄錠快速準(zhǔn)確的晶向定位


從全自動(dòng)的在線分析到晶圓材料的快速質(zhì)量檢查,我們的晶向定位解決方案在

設(shè)計(jì)時(shí)考慮到了晶棒、鑄錠、切片和晶圓的全部應(yīng)用場(chǎng)景。此系列產(chǎn)品利用

XRD分析技術(shù)在晶圓生產(chǎn)的全部流程中,提供簡(jiǎn)單、快速、高精度的晶體定

向測(cè)量,大大提高產(chǎn)品良率。


Omega-Theta_closed mp branded crystal orientation range freiberg.jpg

Omega/Theta(XRD)                           

用于超快晶體定向的全自動(dòng)垂直三軸XRD    


  • 10秒內(nèi)完成定向                                    

  • 定向精度:0.003°

  • 定向轉(zhuǎn)移技術(shù):多鑄錠取向測(cè)定,實(shí)現(xiàn)高效切割

  • 晶錠端面及定位邊定向和轉(zhuǎn)移夾具可選

  • 光學(xué)測(cè)量工具可選,可測(cè)樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長(zhǎng)度、深度

  • 適應(yīng)不同樣品的精密樣品轉(zhuǎn)盤、mapping臺(tái)和工裝夾具

  • 搖擺曲線測(cè)量


F2000_DDCOM_3_02_closed-MP-branding crystal orientation range freiberg.jpg

DDCOM(XRD)

緊湊型超快晶體自動(dòng)定向儀

  • 10秒內(nèi)完成定向

  • 定向精度:0.01°

  • 兩個(gè)閃爍探測(cè)器

  • 專為方位角設(shè)置和晶向標(biāo)記而設(shè)計(jì)

  • 可測(cè)直徑為 8 mm 至**225 mm的晶圓和晶錠

  • 無需水冷

F4000_SDCOM_MP_branded-crystal orientation range freiberg.jpg

SDCOM(XRD)

用戶友好的緊湊型多功能XRD

  • 超快測(cè)量,10秒內(nèi)返回結(jié)果

  • 定向精度:0.01°

  • 定向轉(zhuǎn)移技術(shù):多鑄錠取向測(cè)定,實(shí)現(xiàn)高效切割

  • 光學(xué)測(cè)量工具可選,可測(cè)樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長(zhǎng)度、深度

  • 樣品直徑1-200mm

  • 無需水冷



F5000_XRD-OEM_mp branded crystal orientation range freiberg.jpg

XRD-OEM

在線晶體定向測(cè)定

  • 標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)接口,可集成到任何自動(dòng)化或加工系統(tǒng)中

  • 線切/研磨前對(duì)大型晶錠進(jìn)行全自動(dòng)在線定向

  • 可內(nèi)置于磨床和切割機(jī)等惡劣環(huán)境中使用

  • 平邊/V槽的光學(xué)測(cè)量功能,如位置、形狀、長(zhǎng)度、深度等


Wafer XRD 200 / 300



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Wafer XRD 200

無縫融入生產(chǎn)線的全自動(dòng)高速XRD

  • 用于3-8英寸晶圓片

  • 定向精度:0.003°

  • 產(chǎn)能:100萬片/年

  • 幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測(cè)量等

  • 全自動(dòng)處理和揀選晶圓片


F8000-Wafer-XRD-300 mp branded crystal orientation range freiberg.png

Wafer XRD 300

用于300mm晶圓生產(chǎn)的高速XRD

  • 超快速提供12英寸晶圓的晶體取向和幾何特征等

  • 定向精度:0.003°

  • 幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測(cè)量等


附加功能

image.png  image.png

          晶圓面掃                          鑄錠堆垛 

image.png image.png             

        自動(dòng)化晶圓揀選                 小樣品夾具


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電池/電源

2021-08-06

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