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面議型號(hào)
SAB9510-半自動(dòng) 超原子束TRIM機(jī)品牌
青禾晶元產(chǎn)地
天津樣本
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SAB9510是一款全自動(dòng)的超原子束表面TRIM機(jī)，可通過(guò)Cassette自動(dòng)上下料，適用于半導(dǎo)體薄膜超精密TRIM批量化生產(chǎn)。
項(xiàng)目
指標(biāo)
晶圓尺寸
4-12寸
上料模式
Cassette自動(dòng)上下料
晶圓校準(zhǔn)
Aligner
去除效率
800 ?*cm2/s @Si
支持工藝氣體
NF3/Ar/SF6/O2/He或其他混合氣體
束流強(qiáng)度
＞100μA @Ar
束斑尺寸
半高寬<5mm
離子能量
60kev
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