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電子束系統(tǒng)
Description:
●專為金屬、電介質、氧化物、半導體和合金的沉積而設計，用于研發(fā)實驗室和試生產應用
●可配置離子束清洗和離子輔助沉積(IAD)的離子源
●可實現(xiàn)<+/-3%的均勻沉積
●系統(tǒng)可配備不同的真空泵，用于高壓和超高壓
●多功能、操作簡便、長期可靠，適用于單層和多層薄膜蒸發(fā)
暫無數(shù)據(jù)！
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