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微型熱沉積系統(tǒng)
微型熱沉積系統(tǒng)

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型號

定制-微型熱沉積系統(tǒng)

品牌

產(chǎn)地

中國

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微型熱沉積系統(tǒng)


微型熱沉積系統(tǒng).png


Description:

●尺寸:600(W)x1015(D)x1800(H)

真空室:350(D) x 440(H)

可實現(xiàn)<+/-3%的均勻沉積

極限壓力 ≤5E-7Torr

襯底大小:3”



8bd4f77ce48aa3f3ddcb9bc6009b83d.png

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