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定制-電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-詳情15345079037品牌
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電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)
Plasma - Enhanced Chemical Vapor Deposition
基板尺寸:10x10cm或其他尺寸
濺鍍?cè)?13.56 MHz RF 或2.45 GHz微波
基板加溫:Max800℃
自動(dòng)製程
Description:
基板尺寸:6”Wafer或其他尺寸
電漿源:13.56 MHz RF & Bias
基板加溫:Max350℃
氣體:SiH4，NH3,N2O，Ar,N2，CF4,O2...
自動(dòng)壓力控制器
用途:SiO2，SiXNX ... etc.,
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