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預(yù)清洗機(jī) 芯矽科技
預(yù)清洗機(jī) 芯矽科技

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

4444

品牌

芯矽科技

產(chǎn)地

蘇州

樣本

暫無(wú)
蘇州芯矽電子科技有限公司

會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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一、產(chǎn)品定位與核心價(jià)值

預(yù)清洗機(jī)是針對(duì)精密制造領(lǐng)域(如半導(dǎo)體、光伏、電子封裝等)設(shè)計(jì)的高效表面處理設(shè)備,主要用于去除工件表面的顆粒、有機(jī)物、金屬殘留及氧化層等污染物。其核心目標(biāo)是為后續(xù)工藝(如光刻、鍍膜、鍵合等)提供超潔凈的基材表面,從而提升產(chǎn)品良率與工藝穩(wěn)定性。設(shè)備通過(guò)模塊化設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)濕法清洗、超聲波剝離、干燥固化等全流程自動(dòng)化,兼容多種工件類型(晶圓、光罩、玻璃基板等),并支持定制化工藝方案。

二、技術(shù)架構(gòu)與清洗原理

復(fù)合式清洗技術(shù)

化學(xué)濕法清洗:基于酸性/堿性溶液(如DHF、SC-1、SPM)的化學(xué)反應(yīng),溶解金屬離子、氧化物及有機(jī)污染物,適用于去除頑固殘留。

空化效應(yīng)清洗:通過(guò)高頻超聲波(20kHz~1MHz)或兆聲波(>1MHz)產(chǎn)生微觀氣泡爆破,精準(zhǔn)剝離微小顆粒及納米級(jí)污染物,避免損傷敏感表面。

流體沖刷技術(shù):高壓噴淋與旋轉(zhuǎn)臺(tái)協(xié)同工作,實(shí)現(xiàn)360°無(wú)死角沖洗,配合DIW(去離子水)循環(huán)系統(tǒng)確保污染物徹底清除。

污染物控制策略

顆粒清除:多級(jí)過(guò)濾系統(tǒng)(精度可達(dá)0.1μm)結(jié)合流體動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì),防止二次污染。

金屬污染管理:螯合劑或絡(luò)合反應(yīng)定向去除金屬離子,DIW終洗確保無(wú)殘留。

有機(jī)物分解:紫外線或臭氧催化氧化,分解碳基污染物,提升表面活性。

干燥與表面保護(hù)

熱氮快速干燥:高溫氮?dú)獯祾呷コ?,避免水漬殘留,適用于耐高溫材料。

真空低溫干燥:抽真空脫水保護(hù)易碎或熱敏感工件(如薄晶圓、光罩)。

IPA置換干燥:異丙醇蒸汽置換水分,無(wú)接觸式干燥防腐蝕,適用于高精度圖形表面。

三、設(shè)備組成與功能模塊

自動(dòng)化進(jìn)出料系統(tǒng)

全封閉機(jī)械臂或傳送帶裝載工件,支持多尺寸(4寸—12寸晶圓、5寸—G12玻璃基板)及不同厚度(0.5mm—2mm)。

防塵隔離艙與風(fēng)淋系統(tǒng),確保腔體內(nèi)潔凈度達(dá)Class 10—Class 1000標(biāo)準(zhǔn)。

清洗單元

超聲波/兆聲波模塊:頻率與功率可調(diào),適配不同污染物類型(如顆粒、膜層)。

化學(xué)液噴淋系統(tǒng):多槽設(shè)計(jì),支持酸堿溶液、DIW、IPA自動(dòng)切換,配備溫度與電導(dǎo)率實(shí)時(shí)監(jiān)控。

旋轉(zhuǎn)清洗臺(tái):可編程轉(zhuǎn)速與傾斜角度,優(yōu)化流體覆蓋均勻性。

干燥與檢測(cè)單元

熱氮烘干腔:溫度范圍RT—200℃,風(fēng)速均勻性>95%,防止局部干燥不良。

在線檢測(cè)模塊:集成激光粒子計(jì)數(shù)器(檢測(cè)≥0.1μm顆粒)與光學(xué)顯微鏡,實(shí)時(shí)反饋清潔度。

智能化控制系統(tǒng)

PLC+觸控界面:預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)工藝(如RCA、SPM清洗),支持參數(shù)自定義與數(shù)據(jù)存儲(chǔ)(日志、SPC分析)。

RFID識(shí)別:自動(dòng)調(diào)用工件專屬清洗程序,確保工藝一致性與追溯性。

安全與環(huán)保設(shè)計(jì)

防護(hù)機(jī)制:漏液傳感器、氣體壓力監(jiān)測(cè)、緊急停機(jī)按鈕,關(guān)鍵部件采用耐腐蝕材質(zhì)(PTFE、PVDF)。

廢液處理:酸堿中和系統(tǒng)與VOC過(guò)濾裝置,確保排放符合環(huán)保要求。

四、核心優(yōu)勢(shì)與差異化特性

精密工藝兼容性

適用于先進(jìn)制程(如5nm以下芯片、EUV光罩),支持薄晶圓(<100μm)、復(fù)雜圖形結(jié)構(gòu)(3D NAND、FinFET)清洗。

可選配等離子體增強(qiáng)模塊,用于頑固有機(jī)物去除或表面活化。

高效與低成本運(yùn)營(yíng)

化學(xué)液循環(huán)利用率>80%,DIW回收系統(tǒng)減少耗材消耗。

模塊化設(shè)計(jì)支持干法/濕法自由組合,降低維護(hù)成本。

智能化與數(shù)字化

支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與工藝參數(shù)云端存儲(chǔ),對(duì)接MES系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)追溯。

自適應(yīng)學(xué)習(xí)功能:根據(jù)檢測(cè)結(jié)果自動(dòng)優(yōu)化清洗參數(shù),提升效率。

國(guó)產(chǎn)化替代能力

關(guān)鍵組件(如超聲波換能器、密封件)自主可控,打破進(jìn)口依賴。

定制化服務(wù):針對(duì)特殊材料(如SiC、GaN)或新興工藝(如Chiplet封裝)提供專項(xiàng)解決方案。

創(chuàng)新點(diǎn)

暫無(wú)數(shù)據(jù)!

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用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無(wú)評(píng)論!
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