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一、RCA清洗機(jī)臺(tái)概述
RCA清洗機(jī)臺(tái)是半導(dǎo)體制造中用于晶圓表面清潔的關(guān)鍵設(shè)備,基于標(biāo)準(zhǔn)RCA工藝(Radio Corporation of America清洗法),通過化學(xué)腐蝕與物理沖洗結(jié)合的方式,去除晶圓表面的有機(jī)物、金屬離子和氧化物。其核心工藝包括SC-1(堿性過氧化氫溶液)、SC-2(酸性過氧化氫溶液)和DHF(稀氫氟酸)三步,適用于前道制程(如光刻、蝕刻前清洗)和后道封裝(如存儲(chǔ)卡匣清潔)。
二、核心技術(shù)特點(diǎn)
多工藝兼容性
支持RCA、IMEC、Pre-Diffusion、Pre-Metal等多種清洗配方,適應(yīng)不同污染類型(顆粒、金屬、氧化物)。
可選配兆聲波清洗(>1MHz超聲波),減少對(duì)精密結(jié)構(gòu)的損傷,適用于3D NAND、先進(jìn)封裝等場景。
高精度控制與自動(dòng)化
PLC+觸摸屏控制:實(shí)現(xiàn)溫度(±1℃)、時(shí)間、流速等參數(shù)精準(zhǔn)調(diào)節(jié),支持自動(dòng)/手動(dòng)模式切換。
機(jī)械手傳輸系統(tǒng):前置式機(jī)械臂定位精度高,配備雙重限位卡控,支持倒車功能與拋動(dòng)機(jī)構(gòu)(頻率可調(diào))。
數(shù)據(jù)追溯與遠(yuǎn)程監(jiān)控:實(shí)時(shí)記錄工藝參數(shù)(槽溫、運(yùn)行時(shí)間、報(bào)警信息),支持USB導(dǎo)出數(shù)據(jù),兼容MES系統(tǒng)對(duì)接。
材料與安全性設(shè)計(jì)
耐腐蝕材質(zhì):槽體可選石英、PTFE、PVDF、SUS 316等材質(zhì),適應(yīng)HF、H?O?等強(qiáng)腐蝕性化學(xué)液。
安全防護(hù):配備自動(dòng)安全門、漏液報(bào)警、漏電保護(hù)、緊急停機(jī)按鈕,電氣部分采用正壓N?保護(hù),防止腐蝕。
排風(fēng)與環(huán)保:模塊化排風(fēng)系統(tǒng)(自動(dòng)/手動(dòng)風(fēng)閥),酸堿廢氣分開處理,減少污染35。
高效清洗與干燥
多槽聯(lián)動(dòng)設(shè)計(jì):化學(xué)浸泡→超聲波清洗→噴淋漂洗→熱氮烘干(或IPA脫水),全流程閉環(huán)控制。
干燥技術(shù):高溫離子風(fēng)或真空干燥,避免水漬殘留,兼容低溫工藝需求。
三、設(shè)備組成與結(jié)構(gòu)
核心模塊
清洗槽:根據(jù)工藝需求配置單片盒或雙片盒結(jié)構(gòu),支持溢流槽(四面溢流)、快速排放槽(QDR)。
溫控系統(tǒng):加熱溫度可達(dá)200℃,配備冰水盤管冷卻,確保槽內(nèi)溫度穩(wěn)定性。
流體分配系統(tǒng):循環(huán)泵、過濾器(0.1μm顆粒過濾)、噴淋臂,保證化學(xué)液均勻分布。
傳輸與機(jī)械手
機(jī)械手臂采用防腐蝕處理(耐酸/堿/有機(jī)溶劑),支持6寸至12寸晶圓傳輸,可定制拋動(dòng)功能提升清洗均勻性。
傳輸方式:PLC控制左右移動(dòng)+上下運(yùn)行,具備倒車功能。
輔助系統(tǒng)
排風(fēng)系統(tǒng):調(diào)風(fēng)板+風(fēng)腔設(shè)計(jì),防止水汽凝結(jié),可選自動(dòng)/手動(dòng)風(fēng)閥。
藥液管理:自動(dòng)供液、補(bǔ)液、循環(huán)過濾,支持電導(dǎo)率檢測與換液提示功能。
安全裝置:液位保護(hù)、氣體壓力監(jiān)測(N?/CDA)、漏液報(bào)警等。
四、應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
前道制程:光刻前晶圓清洗、蝕刻后金屬污染去除、擴(kuò)散/沉積前表面處理。
后道封裝:存儲(chǔ)卡匣(FOUP)清潔、老化載具翻新。
其他領(lǐng)域
光學(xué)鍍膜:清洗光學(xué)元件(如透鏡、濾光片),提升鍍膜質(zhì)量。
材料研究:實(shí)驗(yàn)室級(jí)石英舟、爐管清潔,確保實(shí)驗(yàn)準(zhǔn)確性。
五、技術(shù)參數(shù)
參數(shù)類別 | 參數(shù)詳情 |
---|---|
兼容晶圓尺寸 | 2寸—12寸(可定制15寸以上) |
清洗工藝 | SC-1、SC-2、DHF、SPM、BOE、超聲清洗等5 |
溫控精度 | ±1℃(加熱溫度**200℃) |
干燥方式 | 熱氮烘干、IPA脫水或真空干燥 |
電源/氣源 | AC 380V±38V(三相五線),N?/CDA壓力0.25—0.3MPa45 |
安全等級(jí) | SEMI S8/S2合規(guī),防爆設(shè)計(jì),泄漏檢測與急停功能35 |
數(shù)據(jù)記錄 | 存儲(chǔ)工藝參數(shù)(程序號(hào)、操作者、溫度、時(shí)間、報(bào)警信息),支持USB導(dǎo)出5 |
暫無數(shù)據(jù)!