天天日夜夜,红杏亚洲影院一区二区三区,国产熟女乱伦网,国产无码久久

首頁 > 輔助設備 > 清洗機 >
rca清洗機臺 芯矽科技
rca清洗機臺 芯矽科技

參考價格

面議

型號

1111

品牌

芯矽科技

產地

蘇州

樣本

暫無
蘇州芯矽電子科技有限公司

會員

|

第1年

|

生產商

工商已核實

留言詢價
核心參數
  • 壓電變頻能量轉換器:

    根據客戶需求定制
  • 超聲功率:

    根據客戶需求定制
  • 處理容量(L):

    根據客戶需求定制
  • 溫度范圍:

    根據客戶需求定制
  • 定時器范圍:

    根據客戶需求定制
  • 適用物料:

    根據客戶需求定制
  • 功率(kw):

    根據客戶需求定制
  • 重量(kg):

    根據客戶需求定制
  • 規(guī)格外形(長*寬*高):

    根據客戶需求定制
產品介紹
創(chuàng)新點
相關方案
相關資料
用戶評論
公司動態(tài)
問商家
留言詢價
×

*留言類型

*留言內容

*聯(lián)系人

*單位名稱

*電子郵箱

*手機號

提交

虛擬號將在 180 秒后失效

使用微信掃碼撥號

為了保證隱私安全,平臺已啟用虛擬電話,請放心撥打(暫不支持短信)
×
是否已溝通完成
您還可以選擇留下聯(lián)系電話,等待商家與您聯(lián)系

需求描述

單位名稱

聯(lián)系人

聯(lián)系電話

Email

已與商家取得聯(lián)系
同意發(fā)送給商家
產品介紹
創(chuàng)新點
相關方案
相關資料
用戶評論
公司動態(tài)
問商家

一、RCA清洗機臺概述

RCA清洗機臺是半導體制造中用于晶圓表面清潔的關鍵設備,基于標準RCA工藝(Radio Corporation of America清洗法),通過化學腐蝕與物理沖洗結合的方式,去除晶圓表面的有機物、金屬離子和氧化物。其核心工藝包括SC-1(堿性過氧化氫溶液)、SC-2(酸性過氧化氫溶液)和DHF(稀氫氟酸)三步,適用于前道制程(如光刻、蝕刻前清洗)和后道封裝(如存儲卡匣清潔)。

二、核心技術特點

多工藝兼容性

支持RCA、IMEC、Pre-Diffusion、Pre-Metal等多種清洗配方,適應不同污染類型(顆粒、金屬、氧化物)。

可選配兆聲波清洗(>1MHz超聲波),減少對精密結構的損傷,適用于3D NAND、先進封裝等場景。

高精度控制與自動化

PLC+觸摸屏控制:實現(xiàn)溫度(±1℃)、時間、流速等參數精準調節(jié),支持自動/手動模式切換。

機械手傳輸系統(tǒng):前置式機械臂定位精度高,配備雙重限位卡控,支持倒車功能與拋動機構(頻率可調)。

數據追溯與遠程監(jiān)控:實時記錄工藝參數(槽溫、運行時間、報警信息),支持USB導出數據,兼容MES系統(tǒng)對接。

材料與安全性設計

耐腐蝕材質:槽體可選石英、PTFE、PVDF、SUS 316等材質,適應HF、H?O?等強腐蝕性化學液。

安全防護:配備自動安全門、漏液報警、漏電保護、緊急停機按鈕,電氣部分采用正壓N?保護,防止腐蝕。

排風與環(huán)保:模塊化排風系統(tǒng)(自動/手動風閥),酸堿廢氣分開處理,減少污染35。

高效清洗與干燥

多槽聯(lián)動設計:化學浸泡→超聲波清洗→噴淋漂洗→熱氮烘干(或IPA脫水),全流程閉環(huán)控制。

干燥技術:高溫離子風或真空干燥,避免水漬殘留,兼容低溫工藝需求。

三、設備組成與結構

核心模塊

清洗槽:根據工藝需求配置單片盒或雙片盒結構,支持溢流槽(四面溢流)、快速排放槽(QDR)。

溫控系統(tǒng):加熱溫度可達200℃,配備冰水盤管冷卻,確保槽內溫度穩(wěn)定性。

流體分配系統(tǒng):循環(huán)泵、過濾器(0.1μm顆粒過濾)、噴淋臂,保證化學液均勻分布。

傳輸與機械手

機械手臂采用防腐蝕處理(耐酸/堿/有機溶劑),支持6寸至12寸晶圓傳輸,可定制拋動功能提升清洗均勻性。

傳輸方式:PLC控制左右移動+上下運行,具備倒車功能。

輔助系統(tǒng)

排風系統(tǒng):調風板+風腔設計,防止水汽凝結,可選自動/手動風閥。

藥液管理:自動供液、補液、循環(huán)過濾,支持電導率檢測與換液提示功能。

安全裝置:液位保護、氣體壓力監(jiān)測(N?/CDA)、漏液報警等。

四、應用場景

半導體制造

前道制程:光刻前晶圓清洗、蝕刻后金屬污染去除、擴散/沉積前表面處理。

后道封裝:存儲卡匣(FOUP)清潔、老化載具翻新。

其他領域

光學鍍膜:清洗光學元件(如透鏡、濾光片),提升鍍膜質量。

材料研究:實驗室級石英舟、爐管清潔,確保實驗準確性。

五、技術參數

參數類別參數詳情
兼容晶圓尺寸2寸—12寸(可定制15寸以上)
清洗工藝SC-1、SC-2、DHF、SPM、BOE、超聲清洗等5
溫控精度±1℃(加熱溫度**200℃)
干燥方式熱氮烘干、IPA脫水或真空干燥
電源/氣源AC 380V±38V(三相五線),N?/CDA壓力0.25—0.3MPa45
安全等級SEMI S8/S2合規(guī),防爆設計,泄漏檢測與急停功能35
數據記錄存儲工藝參數(程序號、操作者、溫度、時間、報警信息),支持USB導出5


創(chuàng)新點

暫無數據!

相關方案
暫無相關方案。
相關資料
暫無數據。
用戶評論

產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
評論內容
暫無評論!
公司動態(tài)
暫無數據!
技術文章
暫無數據!
問商家
  • rca清洗機臺 芯矽科技的工作原理介紹?
  • rca清洗機臺 芯矽科技的使用方法?
  • rca清洗機臺 芯矽科技多少錢一臺?
  • rca清洗機臺 芯矽科技使用的注意事項
  • rca清洗機臺 芯矽科技的說明書有嗎?
  • rca清洗機臺 芯矽科技的操作規(guī)程有嗎?
  • rca清洗機臺 芯矽科技的報價含票含運費嗎?
  • rca清洗機臺 芯矽科技有現(xiàn)貨嗎?
  • rca清洗機臺 芯矽科技包安裝嗎?
rca清洗機臺 芯矽科技信息由蘇州芯矽電子科技有限公司為您提供,如您想了解更多關于rca清洗機臺 芯矽科技報價、型號、參數等信息,歡迎來電或留言咨詢。
  • 推薦分類
  • 同類產品
  • 該廠商產品
  • 相關廠商
  • 推薦品牌
免費
咨詢
手機站
二維碼

无码AⅤ一区二区三区在线观看| 亚洲av成人网站在线观看| 日韩欧美一厂| 禁久久精品乱码| 国产精久久| 亚洲综合激情在线| 日韩高清毛片| 石屏县| 午夜久久偷拍蜜芽| 日欧美精品| 性狠狠18禁久久久久久 | z0osl00k重口另类| 蜜桃精品| 人妻网址| 亚州乱码一二三区| 中文字幕不卡一二区| 亚洲一本视频区| 999AV视频在线观看| 亚洲无码国产精品有码中文字幕 | 开心五月激情五月| 亚洲性天堂| 91蜜桃臀| 亚洲综合成人亚洲| 国产欧美日韩综合精品一| 波多野结衣AV无码久久一区| 网站一区| 香蕉在线欧美视频观看| 日本精品中文字幕| 四虎影视8848hh| 户外国产剧情AV| cao在线播放超碰97| 亚洲无码av无码一区二区三区| 少妇又紧又色又爽又刺激视频| 你懂得视频男人女人在线观看| 久久人人爽人人爽| 岑溪市| 亚洲午夜精品一区二区| 国产精品亚洲片在线观看不卡| 香蕉视频影院| 成人区人妻精品一| 亚洲欧美日韩国产系列|