天天日夜夜,红杏亚洲影院一区二区三区,国产熟女乱伦网,国产无码久久

首頁 > 輔助設(shè)備 > 清洗機(jī) >
rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技
rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

1111

品牌

芯矽科技

產(chǎn)地

蘇州

樣本

暫無
蘇州芯矽電子科技有限公司

會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

留言詢價(jià)
核心參數(shù)
  • 規(guī)格外形(長*寬*高):

    根據(jù)客戶需求定制
  • 壓電變頻能量轉(zhuǎn)換器:

    根據(jù)客戶需求定制
  • 超聲功率:

    根據(jù)客戶需求定制
  • 處理容量(L):

    根據(jù)客戶需求定制
  • 溫度范圍:

    根據(jù)客戶需求定制
  • 定時(shí)器范圍:

    根據(jù)客戶需求定制
  • 適用物料:

    根據(jù)客戶需求定制
  • 功率(kw):

    根據(jù)客戶需求定制
  • 重量(kg):

    根據(jù)客戶需求定制
產(chǎn)品介紹
創(chuàng)新點(diǎn)
相關(guān)方案
相關(guān)資料
用戶評(píng)論
公司動(dòng)態(tài)
問商家
留言詢價(jià)
×

*留言類型

*留言內(nèi)容

*聯(lián)系人

*單位名稱

*電子郵箱

*手機(jī)號(hào)

提交

虛擬號(hào)將在 180 秒后失效

使用微信掃碼撥號(hào)

為了保證隱私安全,平臺(tái)已啟用虛擬電話,請(qǐng)放心撥打(暫不支持短信)
×
是否已溝通完成
您還可以選擇留下聯(lián)系電話,等待商家與您聯(lián)系

需求描述

單位名稱

聯(lián)系人

聯(lián)系電話

Email

已與商家取得聯(lián)系
同意發(fā)送給商家
產(chǎn)品介紹
創(chuàng)新點(diǎn)
相關(guān)方案
相關(guān)資料
用戶評(píng)論
公司動(dòng)態(tài)
問商家

一、RCA清洗機(jī)臺(tái)概述

RCA清洗機(jī)臺(tái)是半導(dǎo)體制造中用于晶圓表面清潔的關(guān)鍵設(shè)備,基于標(biāo)準(zhǔn)RCA工藝(Radio Corporation of America清洗法),通過化學(xué)腐蝕與物理沖洗結(jié)合的方式,去除晶圓表面的有機(jī)物、金屬離子和氧化物。其核心工藝包括SC-1(堿性過氧化氫溶液)、SC-2(酸性過氧化氫溶液)和DHF(稀氫氟酸)三步,適用于前道制程(如光刻、蝕刻前清洗)和后道封裝(如存儲(chǔ)卡匣清潔)。

二、核心技術(shù)特點(diǎn)

多工藝兼容性

支持RCA、IMEC、Pre-Diffusion、Pre-Metal等多種清洗配方,適應(yīng)不同污染類型(顆粒、金屬、氧化物)。

可選配兆聲波清洗(>1MHz超聲波),減少對(duì)精密結(jié)構(gòu)的損傷,適用于3D NAND、先進(jìn)封裝等場景。

高精度控制與自動(dòng)化

PLC+觸摸屏控制:實(shí)現(xiàn)溫度(±1℃)、時(shí)間、流速等參數(shù)精準(zhǔn)調(diào)節(jié),支持自動(dòng)/手動(dòng)模式切換。

機(jī)械手傳輸系統(tǒng):前置式機(jī)械臂定位精度高,配備雙重限位卡控,支持倒車功能與拋動(dòng)機(jī)構(gòu)(頻率可調(diào))。

數(shù)據(jù)追溯與遠(yuǎn)程監(jiān)控:實(shí)時(shí)記錄工藝參數(shù)(槽溫、運(yùn)行時(shí)間、報(bào)警信息),支持USB導(dǎo)出數(shù)據(jù),兼容MES系統(tǒng)對(duì)接。

材料與安全性設(shè)計(jì)

耐腐蝕材質(zhì):槽體可選石英、PTFE、PVDF、SUS 316等材質(zhì),適應(yīng)HF、H?O?等強(qiáng)腐蝕性化學(xué)液。

安全防護(hù):配備自動(dòng)安全門、漏液報(bào)警、漏電保護(hù)、緊急停機(jī)按鈕,電氣部分采用正壓N?保護(hù),防止腐蝕。

排風(fēng)與環(huán)保:模塊化排風(fēng)系統(tǒng)(自動(dòng)/手動(dòng)風(fēng)閥),酸堿廢氣分開處理,減少污染35。

高效清洗與干燥

多槽聯(lián)動(dòng)設(shè)計(jì):化學(xué)浸泡→超聲波清洗→噴淋漂洗→熱氮烘干(或IPA脫水),全流程閉環(huán)控制。

干燥技術(shù):高溫離子風(fēng)或真空干燥,避免水漬殘留,兼容低溫工藝需求。

三、設(shè)備組成與結(jié)構(gòu)

核心模塊

清洗槽:根據(jù)工藝需求配置單片盒或雙片盒結(jié)構(gòu),支持溢流槽(四面溢流)、快速排放槽(QDR)。

溫控系統(tǒng):加熱溫度可達(dá)200℃,配備冰水盤管冷卻,確保槽內(nèi)溫度穩(wěn)定性。

流體分配系統(tǒng):循環(huán)泵、過濾器(0.1μm顆粒過濾)、噴淋臂,保證化學(xué)液均勻分布。

傳輸與機(jī)械手

機(jī)械手臂采用防腐蝕處理(耐酸/堿/有機(jī)溶劑),支持6寸至12寸晶圓傳輸,可定制拋動(dòng)功能提升清洗均勻性。

傳輸方式:PLC控制左右移動(dòng)+上下運(yùn)行,具備倒車功能。

輔助系統(tǒng)

排風(fēng)系統(tǒng):調(diào)風(fēng)板+風(fēng)腔設(shè)計(jì),防止水汽凝結(jié),可選自動(dòng)/手動(dòng)風(fēng)閥。

藥液管理:自動(dòng)供液、補(bǔ)液、循環(huán)過濾,支持電導(dǎo)率檢測與換液提示功能。

安全裝置:液位保護(hù)、氣體壓力監(jiān)測(N?/CDA)、漏液報(bào)警等。

四、應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造

前道制程:光刻前晶圓清洗、蝕刻后金屬污染去除、擴(kuò)散/沉積前表面處理。

后道封裝:存儲(chǔ)卡匣(FOUP)清潔、老化載具翻新。

其他領(lǐng)域

光學(xué)鍍膜:清洗光學(xué)元件(如透鏡、濾光片),提升鍍膜質(zhì)量。

材料研究:實(shí)驗(yàn)室級(jí)石英舟、爐管清潔,確保實(shí)驗(yàn)準(zhǔn)確性。

五、技術(shù)參數(shù)

參數(shù)類別參數(shù)詳情
兼容晶圓尺寸2寸—12寸(可定制15寸以上)
清洗工藝SC-1、SC-2、DHF、SPM、BOE、超聲清洗等5
溫控精度±1℃(加熱溫度**200℃)
干燥方式熱氮烘干、IPA脫水或真空干燥
電源/氣源AC 380V±38V(三相五線),N?/CDA壓力0.25—0.3MPa45
安全等級(jí)SEMI S8/S2合規(guī),防爆設(shè)計(jì),泄漏檢測與急停功能35
數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)工藝參數(shù)(程序號(hào)、操作者、溫度、時(shí)間、報(bào)警信息),支持USB導(dǎo)出5


創(chuàng)新點(diǎn)

暫無數(shù)據(jù)!

相關(guān)方案
暫無相關(guān)方案。
相關(guān)資料
暫無數(shù)據(jù)。
用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無評(píng)論!
公司動(dòng)態(tài)
暫無數(shù)據(jù)!
技術(shù)文章
暫無數(shù)據(jù)!
問商家
  • rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技的工作原理介紹?
  • rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技的使用方法?
  • rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技多少錢一臺(tái)?
  • rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技使用的注意事項(xiàng)
  • rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技的說明書有嗎?
  • rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技的操作規(guī)程有嗎?
  • rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎?
  • rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技有現(xiàn)貨嗎?
  • rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技包安裝嗎?
rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技信息由蘇州芯矽電子科技有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢。
  • 推薦分類
  • 同類產(chǎn)品
  • 該廠商產(chǎn)品
  • 相關(guān)廠商
  • 推薦品牌
免費(fèi)
咨詢
手機(jī)站
二維碼

久久久熟女| 狠狠干网| 精品久久久无码专区AⅤ| 日韩欧美系列中文字幕第五页| 久久情亚洲图片视频图片| 老色批在线观看| jjzzjjzz欧美69巨大| 真实乱视频国产| 成人av一区二区三区| 午夜成人性爱免费在线| 亚洲日韩欧美一区二区| 亚洲欧洲免费看视频| 粉嫩小穴久久久久久久久久久| 亚洲高潮| 亚洲AV永久无码精品网址| 66XX无码精品| 措勤县| 亚洲色偷偷综合亚洲AV78| 中文字幕 亚洲一区| 综合在线播放| 精品一区二区久久久久久久网精| 久久视精品爱| 欧美一极黄片| 日韩免费| 欧美日韩三区中文字幕| a 天堂在线| 奶头有奶水在线播放| 性日韩| 日韩精品无码一区二区三区四区| 97国产精品黄片| 四影免费海外虎院mv| 一本之道综合在线| 91丨九色丨老熟女| hq性熟妇maturetube| 蜜桃AV动漫无码一区二区三区| 精品喷水不卡日韩| 国产一级福利| 国内偷拍久久久久久| 人妻AV中文字幕无码专区| 国产野花视频天堂小说网站| 激情护士|