參考價(jià)格
面議型號(hào)
品牌
產(chǎn)地
美國(guó)樣本
暫無(wú)看了SU-8 2000及3000系列光刻膠的用戶(hù)又看了
留言詢(xún)價(jià)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
Microchem公司的SU-8 膠是一種負(fù)性、環(huán)氧樹(shù)脂型、近紫外線(xiàn)光刻膠，它適于制超厚、高深寬比的MEMS微結(jié)構(gòu)，適合i線(xiàn)，X-Ray，E-beam曝光。具有非常好的熱穩(wěn)定性、抗刻蝕性、高分辨率、高深寬等特點(diǎn)。對(duì)近紫外350~400nm波段曝光*為敏感。即使在非常厚的光刻膠曝光情況下，曝光均勻一致，可得到具有垂直側(cè)壁和高深寬比的厚膜圖形。
SU-8 2000系列的特性
1）厚度范圍，單層涂膠厚度為 0.5 to > 200 μm
2）高深寬比：>10:1
3）更多揮發(fā)性溶劑，與傳統(tǒng)去邊工藝兼容
4）降低了極性溶劑含量減小表面張力
5）表面活性成分，改善涂覆效果
應(yīng)用：MEMS，鈍化層應(yīng)用LED微流以及光電子器件制作
SU-8 2000系列的屬性
1）旋轉(zhuǎn)涂層薄膜：<1um to>75um
2）耐高溫、耐化學(xué)性
3）光學(xué)透明
4）與i-line成像設(shè)備兼容
SU-8 3000系列的特性
1）膜厚5-120 um
2）高深寬比：>5:1
3）常用于**性結(jié)構(gòu)制作，較SU-8 2000具有更好的基底粘附力，更不易于在工藝過(guò)程中產(chǎn)生內(nèi)應(yīng) 力積累
應(yīng)用：光電器件、微流體、MEMS芯片制作以及作為芯片絕緣、保護(hù)層使用
相關(guān)溶液：
稀釋劑：SU-8 Thiner
顯影液：SU-8 Developer
去膠液：Remover PG
增附劑：OmniCoat
一般儲(chǔ)存溫度：
4-21°C
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
SU-8 2000及3000系列光刻膠的工作原理介紹？SU-8 2000及3000系列光刻膠的使用方法？SU-8 2000及3000系列光刻膠多少錢(qián)一臺(tái)？SU-8 2000及3000系列光刻膠使用的注意事項(xiàng)SU-8 2000及3000系列光刻膠的說(shuō)明書(shū)有嗎？SU-8 2000及3000系列光刻膠的操作規(guī)程有嗎？SU-8 2000及3000系列光刻膠的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？SU-8 2000及3000系列光刻膠有現(xiàn)貨嗎？SU-8 2000及3000系列光刻膠包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實(shí)
