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KMPR 1000系列光刻膠
KMPR 1000系列光刻膠

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產(chǎn)地

美國

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香港電子器材有限公司

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KMPR為負性光刻膠,用作DRIE蝕刻掩膜實現(xiàn)高深寬比的圖案,它還被廣泛用作MEMS與生物器件的電鍍模具。因為KMPR減少了Cross-link密度,在Hard baked之前,KMPR比SU-8更容易剝離。KMPR負性光刻膠可在任何(PGMEA),或(TMAH)的顯影劑中得到顯影。

KMPR 1000系列的特性

1)臨時或**的應(yīng)用程序

2)膜厚:2-75 um

3)兼容標準水性顯影劑

4)高寬比成像和垂直側(cè)壁,深寬比:>5:1

5)單一旋途可達100微米

6)減少開裂

7)優(yōu)異的金屬粘附性

8)優(yōu)異的電鍍膜液穩(wěn)定性

相關(guān)溶液:

顯影液:SU-8 Developer

去膠液:Remover PG

增附劑:OmniCoat

一般儲存溫度:

-10°C

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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