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MDPpicts溫度依賴的光感應(yīng)電流瞬態(tài)圖譜檢測
MDPpicts溫度依賴的光感應(yīng)電流瞬態(tài)圖譜檢測

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束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司

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MDPpicts 溫度依賴的光感應(yīng)電流瞬態(tài)圖譜檢測

Microwave Detected Photo Induced Current Transient Spectroscopy

微波探測光感應(yīng)電流瞬態(tài)檢測,非接觸無損傷,用于溫度依賴的少數(shù)載流子壽命測量以及半導(dǎo)體的界面陷阱和體陷阱能級(jí)的電性能表征

應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體材料基礎(chǔ)研究與開發(fā)

靈敏度:對電子缺陷表征的 靈敏度

1. 與溫度有關(guān)的載流子發(fā)射瞬態(tài)

溫度范圍:液氮(77k)至500k??蛇x:液氦(4k)或更高溫度衰變常數(shù)范圍:20納秒到幾毫秒污染測定:測量基礎(chǔ)的陷阱能級(jí):陷阱的活化能和俘獲截面,基于溫度和注入的壽命測定重復(fù)性:> 99.5%,測量時(shí)間:< 60分鐘。液氮消耗:2升/次彈性:可從不同波長(從365nm到1480nm)選擇不同種類的材料可訪問性:基于IP的系統(tǒng)允許來自世界任何地方的遠(yuǎn)程操作和技術(shù)支持Arrhenius斜率(圖3)可以確定活化能。利用這種新型的商用MDPpicts設(shè)備,可以在20~500k范圍內(nèi)測量溫度依賴性的光電導(dǎo)瞬態(tài)。在過去,Si, GaAs, InP, SiC和更多的半導(dǎo)體已經(jīng)成功采用了這種方法進(jìn)行研究。

圖2. 不同ID的評(píng)價(jià)

3.Arrhenius曲線圖4. 不同溫度的Cz-Si晶圓片的MD-PICTS圖譜

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