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德國弗萊貝格儀器Quatrz XRD——石英晶體X射線衍射儀主要應(yīng)用于對石英棒、硅片和坯料進行生產(chǎn)質(zhì)量控制。而根據(jù)樣品對象的不同，Quatrz XRD可以分為Quatrz Bar XRD、Quatrz Wafer XRD和Quatrz Blank XRD，即全自動石英棒定向儀、全自動石英晶圓盤分析儀和全自動石英晶片分選儀三種型號。
全自動石英棒定向儀▼
樣品：石英棒
特點：
完全自動化的吸收和校準(zhǔn)石英棒
自動上膠轉(zhuǎn)接器板
校準(zhǔn)精度：±0.5°(AT & TF)
全自動石英晶圓片分析儀▼
樣品：
圓形，長方形和正方形
4 x 4毫米至80 x 80毫米(人工處理樣本)
20 x 20毫米至80 x 80毫米(自動樣本處理)
特點：
空間質(zhì)量檢查的映射圖選項
模塊化設(shè)計，支持未來的自動化升級
用于輸入/輸出的標(biāo)準(zhǔn)樣品盒：盒式或疊式
可用排序函數(shù)
產(chǎn)量：在標(biāo)準(zhǔn)分選精度下，可高達350片/小時
全自動石英晶片分選儀▼
樣品：
圓形，長方形和正方形
4 x 4毫米至12 x 12毫米(手工處理樣本)
1.5 x 1.5毫米至3.0 x 6.0毫米(自動化選項一)
4.0 x 4.0 mm至9.0 x 9.0 mm(自動化選項二)
特點：
質(zhì)量分組：±7.5 arcsec
吞吐量：在標(biāo)準(zhǔn)分揀精度下，每小時可處理高達1000個晶片
暫無數(shù)據(jù)！
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