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美國AST橢偏薄膜分析儀SE200-MSP
美國AST橢偏薄膜分析儀SE200-MSP

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美國

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北京燕京電子有限公司

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橢圓偏振光譜儀主要用于準確測量薄膜厚度,光學常數(shù),薄膜表面粗糙度以及其他的物理,化學,光學性能。美國AST公司設計和制造適合不同應用的高品質(zhì)橢圓偏振光譜系統(tǒng),其產(chǎn)品具有強大的分析功能軟件TFProbe3.0,可以幫助研發(fā)或實驗人員迅速地獲得薄膜的厚度,表面粗糙度,合金成分和介電常數(shù)等數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品特點:

  • 易于安裝

  • 基于視窗結構的軟件,很容易操作

  • 先進的光學設計,以確保能發(fā)揮出好的系統(tǒng)性能

  • 能夠自動的以0.01度的分辨率改變?nèi)肷浣嵌?/p>

  • 高功率的DUV-VIS光源,能夠應用在很寬的波段內(nèi)

  • 基于陣列設計的探測器系統(tǒng),以確??焖贉y量

  • zui多可測量12層薄膜的厚度及折射率

  • 能夠用于實時或在線的監(jiān)控光譜、厚度及折射率等參數(shù)

  • 系統(tǒng)配備大量的光學常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫

  • 對于每個被測薄膜樣品,用戶可以利用先進的TFProbe3.0軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進行色散或者復合模型(EMA)測量分析

  • 三種不同水平的用戶控制模式:專家模式、系統(tǒng)服務模式及初級用戶模式

  • 靈活的專家模式可用于各種獨特的設置和光學模型測試

  • 健全的一鍵按鈕(Turn-key)對于快速和日常的測量提供了很好的解決方案

  • 用戶可根據(jù)自己的喜好及操作習慣來配置參數(shù)的測量

  • 系統(tǒng)有著全自動的計算功能及初始化功能

  • 無需外部的光學器件,系統(tǒng)從樣品測量信號中,直接就可以對樣品進行準確的校準

  • 可調(diào)節(jié)高度及傾斜度

  • 能夠應用于測量不同厚度、不同類型的基片

  • 各種方案及附件可用于諸如平面成像、測量波長擴展、焦斑測量等各種特殊的需求

  • 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。

  • 可用于微觀區(qū)域選項的數(shù)字成像工具

  • 對整個小區(qū)域可進行反射測量的整體式反射計

系統(tǒng)配置:

  • 型號:SE200BA-MSP-M300

  • 探測器:陣列探測器

  • 光源:高功率的DUV-Vis-NIR復合光源

  • 指示角度變化:可編程設定,自動可調(diào)

  • 平臺:ρ-θ配置的自動成像

  • 軟件:TFProbe 3.2版本的軟件

  • 整合了SE和MSP系列的優(yōu)點

  • 計算機:Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器

  • 電源:110–240V AC/50-60Hz,6A

  • 保修:一年的整機及零備件保修

基本參數(shù):

  • 波長范圍:250nm到1000 nm

  • 波長分辨率: 1nm

  • 光斑尺寸:1mm至5mm可變

  • 入射角范圍:10到90度

  • 入射角變化分辨率:0.01度

  • 數(shù)字成像像素:130萬

  • 有效放大倍數(shù):1200×

  • 長物鏡工作距離:12mm

  • MSP光速尺寸:2-500μm可調(diào)

  • 樣品尺寸:zui大直徑為300mm

  • 基板尺寸:zui多可至20毫米厚

  • 測量厚度范圍*:0nm〜10μm

  • 測量時間:約1秒/位置點

  • 精度*:優(yōu)于0.25%

  • 重復性誤差*:小于1 Ǻ

產(chǎn)品可選項:

  • 用于反射的光度測量或透射測量

  • 用于測量小區(qū)域的微小光斑

  • 高分辨率數(shù)字攝像頭

  • 用于MSP的超長物鏡

  • X-Y成像平臺(X-Y模式,取代ρ-θ模式)

  • 加熱/致冷平臺

  • 樣品垂直安裝角度計

  • 波長可擴展到遠DUV或IR范圍

  • 掃描單色儀的配置

應用領域:

  • 玻璃鍍膜領域(LowE、太陽能…)

  • 半導體制造(PR,Oxide, Nitride..)

  • 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..)

  • 醫(yī)學,生物薄膜及材料領域等

  • 油墨,礦物學,顏料,調(diào)色劑等

  • 醫(yī)藥,中間設備

  • 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  • 半導體化合物

  • 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

  • 非晶體,納米材料和結晶硅

詳情關注:北京燕京電子有限公司

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