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Femto Science 等離子清洗機(jī) 表面處理設(shè)備 CUTE
圖片
簡(jiǎn)介
CUTE系列等離子清洗機(jī)來自韓國(guó)FemtoScience公司，是一款無損傷的等離子體處理表面處理系統(tǒng)，其獨(dú)特的設(shè)計(jì)保證了高度穩(wěn)定和均勻輝光放電等離子體產(chǎn)生，可應(yīng)用于微流控、組織工程、石墨烯、2D材料等納米科學(xué)以及微電子領(lǐng)域，適用于諸多材料表面清潔、疏水性增強(qiáng)、層間粘附、刻蝕等操作，標(biāo)配一路自動(dòng)氣體流量計(jì)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝氣體的準(zhǔn)確控制。
CUTE系列等離子清洗機(jī)，其艙體采用鋁合金制作，堅(jiān)固耐用且抗腐蝕，其艙體自帶顯示屏，配合顯示屏下方的操作按鈕，使用簡(jiǎn)單，方便快捷。
規(guī)格參數(shù)
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
艙體材質(zhì) | 鋁合金 |
艙體內(nèi)部尺寸 | 140mm x 200mm x 110mm |
電源頻率 | 20~100kHz |
電源功率 | zui大100W 可自由調(diào)節(jié) |
標(biāo)準(zhǔn)氣體輸入 | 1 x 氣路 |
額外氣體輸入 | 2 x 空管道可供升級(jí) |
氣體流速控制 | MFC自動(dòng)控制 |
zui大流速 | 100sccm |
氣體流速控制精度 | 滿量程的1% |
真空泵抽氣速率 | 80L/min |
zui小真空 | 1 x 10-3 Torr |
真空測(cè)量范圍 | 大氣壓 ~ 5 x 10-5 Torr |
顯示 | 彩色觸摸屏，圖形化控制界面 |
操作員分級(jí) | 2級(jí)操作人員分級(jí) |
程序 | 可進(jìn)行半自動(dòng)控制和全自動(dòng)編程控制 |
參數(shù)存儲(chǔ) | zui大10組工藝參數(shù)儲(chǔ)存，每組工藝包含zui多10個(gè)工藝步驟 |
功能圖解
應(yīng)用系統(tǒng)
PDMS芯片制作
石墨烯，2D材料表面處理
Bio-MEMS
組織工程
食品科學(xué)
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