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大塚電子(蘇州)有限公司
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產(chǎn)品詳情
分光干渉式晶圓膜厚儀 SF-3
分光干渉式晶圓膜厚儀 SF-3的圖片
參考報價:
面議
品牌:
大塚電子
關(guān)注度:
4536
樣本:
暫無
型號:
SF-3
產(chǎn)地:
江蘇
信息完整度:
典型用戶:
暫無
索取資料及報價
認(rèn)證信息
高級會員 第 3
名 稱:大塚電子(蘇州)有限公司
認(rèn) 證:工商信息已核實(shí)
訪問量:166084
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產(chǎn)品分類
公司品牌
品牌傳達(dá)企業(yè)理念
產(chǎn)品簡介

即時檢測
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板于減薄制程中的厚度變化
(強(qiáng)酸環(huán)境中)


產(chǎn)品特色

非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測
采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測再現(xiàn)性
可進(jìn)行高速的即時研磨檢測
可穿越保護(hù)膜、觀景窗等中間層的檢測
可對應(yīng)長工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線或者設(shè)備中
體積小、省空間、設(shè)備安裝簡易
可對應(yīng)線上檢測的外部信號觸發(fā)需求
采用*適合膜厚檢測的獨(dú)自解析演算法。(已取得**)
可自動進(jìn)行膜厚分布制圖(選配項(xiàng)目)

規(guī)格式樣


SF-3

膜厚測量范圍

0.1 μm ~ 1600 μm※1

膜厚精度

±0.1% 以下

重復(fù)精度

0.001% 以下

測量時間

10msec 以下

測量光源

半導(dǎo)體光源

測量口徑

Φ27μm※2

WD

3 mm ~ 200 mm

測量時間

10msec 以下

※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 *小Φ6μm


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