中國粉體網(wǎng)訊 光掩模技術(shù)作為半導(dǎo)體技術(shù)中的重要組成部分，其制作材料包含玻璃基板、鍍鉻膜層、光刻膠、光學(xué)膜等，其中玻璃基板為主要的原材料。
玻璃基板多使用石英玻璃基板和鈉鈣玻璃基板，石英玻璃基板的主體為石英玻璃，其光學(xué)透過率高，熱膨脹率低，光譜特性優(yōu)良，相比鈉鈣玻璃具有更高的硬度和更長的使用壽命，適用于高精度光掩�；宓闹圃臁Ｒ虼�，石英玻璃在光掩�；宓牟牧线x擇中更具備優(yōu)勢，且市場需求逐年遞增。
隨著對光掩模石英玻璃基板的材料性質(zhì)和加工精度要求越來越高，其制備的工藝要求也越來越嚴(yán)苛。石英玻璃基板的主要工藝包括石英錠熔制、熱加工和冷加工等，每道工序都有嚴(yán)格的規(guī)范要求。
以化學(xué)氣相沉積法（CVD）為例，合成石英的制造是以SiCl4作為原料，在氫氧焰中高溫水解或氧化生成SiO2微粒，沉積熔化形成透明的高純石英錠。根據(jù)光掩模石英玻璃基板的規(guī)格將石英錠割成相應(yīng)尺寸的石英塊，通過熱加工方式形成石英板。經(jīng)過一系列的冷加工如切割、開方、倒角、磨拋等工藝的石英板最終形成光掩模石英玻璃基板。
光掩模石英玻璃基板的制造
目前，光掩�；逯饕蕾囘M(jìn)口，美國康寧、德國賀利氏和日本信越等公司幾乎壟斷了產(chǎn)業(yè)需求供給。國內(nèi)有數(shù)家企業(yè)有能力生產(chǎn)，但制備技術(shù)和加工技術(shù)方面較落后，產(chǎn)品應(yīng)用也多是中低端市場，不能規(guī)�；⒊掷m(xù)穩(wěn)定提供高端產(chǎn)品。面對巨大的國內(nèi)市場，眾多廠家開始光掩模石英玻璃基板的研制，對相關(guān)的制造工藝進(jìn)行摸索與改良。
其中，南通晶體有限公司以服務(wù)實現(xiàn)兩個“兩個一百年目標(biāo)”為根本遵循，以提升合成石英性能為核心，深耕合成石英氣相沉積技術(shù)，著力解決制約合成石英關(guān)鍵技術(shù)突破和國產(chǎn)化自主可控問題，加快我國高性能合成石英產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展，助力光掩模行業(yè)實現(xiàn)歷史性跨越。
2025年4月23-24日，由中國粉體網(wǎng)、中粉會展主辦的“2025全國半導(dǎo)體行業(yè)用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會”將在江蘇南京召開，屆時來自南通晶體有限公司的錢宜剛總經(jīng)理，將做題為《光掩模用石英材料研發(fā)進(jìn)展》的報告。
專家簡介
錢宜剛，中共黨員，博士，高級工程師，南通晶體有限公司總經(jīng)理。特種玻璃技術(shù)委員會委員，中國光學(xué)工程學(xué)會、通信學(xué)會高級會員、中國電子學(xué)會會員。
從事VAD法熔石英制備技術(shù)研究16年，主持實施了國家工業(yè)強基工程、發(fā)改委產(chǎn)業(yè)振興和技改專項、江蘇省戰(zhàn)興專項、江蘇省重大科技成果轉(zhuǎn)化項目等10多項研發(fā)項目，研究開發(fā)多項填補國內(nèi)空白的產(chǎn)品和技術(shù)，獲省部級科技進(jìn)步獎5項，獲授權(quán)發(fā)明專利21件，授權(quán)實用新型專利15件，其中獲中國專利優(yōu)秀獎1項。參編國家標(biāo)準(zhǔn)2項、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)2項，發(fā)表論文20余篇。
參考來源：
陳婭麗等：光掩模石英玻璃基板的制造工藝概述
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安）
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