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合成高純石英砂,國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上又一短板!


來源:中國粉體網(wǎng)   平安

[導(dǎo)讀]  半導(dǎo)體用合成高純石英砂技術(shù)進(jìn)展和產(chǎn)業(yè)化

中國粉體網(wǎng)訊  高純石英砂按雜質(zhì)含量及用途可分為光伏級(jí)、半導(dǎo)體級(jí)產(chǎn)品。半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用對(duì)Li、Na、K、Fe、B等元素含量極為敏感,根據(jù)應(yīng)用的不同,對(duì)金屬雜質(zhì)含量要求不同。隨著半導(dǎo)體技術(shù)要求的提高,對(duì)高純石英砂的要求也不斷提升。而天然石英礦受本身伴生物質(zhì)、生長環(huán)境的影響,純度幾乎到天花板,因此以化學(xué)合成工藝制備高純石英砂,被認(rèn)為是未來技術(shù)發(fā)展的主要方向之一。



合成石英砂以硅或含硅化合物為原料,通過化學(xué)反應(yīng)制備二氧化硅,再經(jīng)過提純、焙燒、篩分等工藝,得到高純石英砂。日本三菱化學(xué)突破了合成砂技術(shù),所生產(chǎn)的超高純合成砂金屬雜質(zhì)總量小于1ppm,成功應(yīng)用于高端市場(chǎng),對(duì)國內(nèi)有進(jìn)口限制。受限于合成成本、設(shè)備材質(zhì)、生產(chǎn)周期、產(chǎn)品穩(wěn)定性等因素,國內(nèi)廠家大多處于研發(fā)、小試、中試階段,未見大批量規(guī)模化生產(chǎn)。

半導(dǎo)體與光伏行業(yè)所用石英制品類型基本一致,但在純度、表面顆粒物、尺寸精度等方面要求更為苛刻,最高級(jí)別純度要求近6N,且需通過半導(dǎo)體設(shè)備廠商的認(rèn)證,合成石英砂可滿足此純度要求。據(jù)悉,中建材衢州金格蘭石英有限公司制備的合成石英砂攻克了氣泡難題,其金屬雜質(zhì)含量小于1ppm,能夠滿足石英砣、石英坩堝的熔制需求。

2025年4月23-24日,由中國粉體網(wǎng)、中粉會(huì)展主辦的“2025全國半導(dǎo)體行業(yè)用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)”將在江蘇南京召開,屆時(shí)來自中建材衢州金格蘭石英有限公司的教授級(jí)高工、副總經(jīng)理花寧將做題為《半導(dǎo)體用合成高純石英砂技術(shù)進(jìn)展和產(chǎn)業(yè)化》的報(bào)告。



花寧,教授級(jí)高工。從事石英砂、石英材料及制品研發(fā)和制備工作10余年,研制出高純不透明石英玻璃、高純合成石英砂、高精度石英玻璃制品等產(chǎn)品。主持或參與多項(xiàng)國家和省級(jí)科研項(xiàng)目,其中包括:國家項(xiàng)目6項(xiàng),省級(jí)項(xiàng)目5項(xiàng)。獲得科技獎(jiǎng)5項(xiàng),發(fā)表論文10余篇,授權(quán)發(fā)明專利20余項(xiàng),制定國家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)10余項(xiàng)。

(中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安)

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作者:平安

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