中國粉體網(wǎng)訊  8月3日上午，在常山縣2023年三季度重大項目“三集中”儀式后，浙江大和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園三期建設(shè)項目竣工儀式舉行，標志著常山正式成為全球半導(dǎo)體裝備核心零部件重要制造生產(chǎn)基地。其中由浙江富樂德半導(dǎo)體材料科技有限公司導(dǎo)入的化學氣相沉積碳化硅生產(chǎn)線將填補國內(nèi)空白，破解集成電路半導(dǎo)體裝備卡脖子技術(shù)問題，為全國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展貢獻強大力量。

浙江大和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園三期建設(shè)項目由浙江盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司和浙江富樂德半導(dǎo)體材料科技有限公司投資建設(shè)，總投資近20億元。浙江盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司將導(dǎo)入高純硅部件項目，為不斷增長的國產(chǎn)化半導(dǎo)體裝備需求提供支持。浙江富樂德半導(dǎo)體材料科技有限公司將導(dǎo)入高純氧化鋁及化學氣相沉積碳化硅產(chǎn)品生產(chǎn)線，氧化鋁產(chǎn)品具備優(yōu)異的耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、耐磨耗、高導(dǎo)熱、高絕緣性等特點，被廣泛運用于半導(dǎo)體、LED液晶顯示、激光、醫(yī)療設(shè)備等高精尖領(lǐng)域，從國外引進的化學氣相沉積碳化硅產(chǎn)品生產(chǎn)線將填補國內(nèi)空白，破解集成電路半導(dǎo)體裝備卡脖子技術(shù)問題，為全國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展貢獻強大力量。

據(jù)了解，項目全部滿產(chǎn)后，浙江大和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園將成為年產(chǎn)值近50億元，集高純石英部件、精密半導(dǎo)體金屬部件、熱電半導(dǎo)體制冷器件、高純硅部件、化學氣相沉積碳化硅，精密半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)品的生產(chǎn)、研發(fā)、銷售為一體的全球半導(dǎo)體裝備核心零部件重要制造生產(chǎn)基地，也將為常山“一片芯”產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供強有力的支撐保障。

目前我國在半導(dǎo)體供應(yīng)鏈發(fā)展過程中，最卡脖子的是材料、設(shè)備和工藝。Ferrotec在常山的投資填補了中國半導(dǎo)體整個供應(yīng)鏈的許多空白，為實現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)品國內(nèi)自循環(huán)打下了堅實的基礎(chǔ)。

“化學氣相沉積碳化硅對于半導(dǎo)體裝備來說必不可少，但是長期以來產(chǎn)品依賴日本進口。這次三期項目把生產(chǎn)設(shè)備從日本導(dǎo)入中國、導(dǎo)入常山，對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有深遠意義，它實現(xiàn)了產(chǎn)品國內(nèi)供給、填補了行業(yè)空白、破解了卡脖子難題，屆時中國的半導(dǎo)體裝備企業(yè)和芯片產(chǎn)商需要這類產(chǎn)品就不需要進口�！辟R賢漢說，下一步，企業(yè)將加大投資力度，不斷做大做強，為中國半導(dǎo)體和常山“一片芯”產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻更大力量。

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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