推薦多晶硅菜花料是怎么來的

中國粉體網(wǎng)訊多晶硅還原爐反應機理多晶硅還原爐內(nèi)反應本質上屬于原子范疇的氣態(tài)傳質過程，物料H2和SiHCl3沿著基體硅棒表面由下及上擴散，到達還原爐頂部后再由上及下回到底盤，經(jīng)尾氣管道排出還原爐在連續(xù)反應的過程中，H2和SiH[更多]