推薦多晶硅菜花料是怎么來(lái)的

中國(guó)粉體網(wǎng)訊多晶硅還原爐反應(yīng)機(jī)理多晶硅還原爐內(nèi)反應(yīng)本質(zhì)上屬于原子范疇的氣態(tài)傳質(zhì)過(guò)程，物料H2和SiHCl3沿著基體硅棒表面由下及上擴(kuò)散，到達(dá)還原爐頂部后再由上及下回到底盤(pán)，經(jīng)尾氣管道排出還原爐在連續(xù)反應(yīng)的過(guò)程中，H2和SiH[更多]