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全自動碳化硅激光垂直剝離產(chǎn)線品牌
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全自動激光垂直剝離碳化硅產(chǎn)線是用于第三代半導體材料(碳化硅)晶錠切割、剝離、研磨、循環(huán)加工的設備線，可對6/8/寸SiC晶錠實現(xiàn)全自動循環(huán)加工分片。
加工工藝
激光垂直剝離碳化硅設備采用的加工工藝是使用激光剝離取代傳統(tǒng)的線切割模式
加工效果
 |  |
| 剝離后6英寸半絕緣晶錠與晶圓 | 垂直剝離后8英寸導電型晶錠與晶圓 |
技術(shù)規(guī)格
暫無數(shù)據(jù)！
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