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功能：該儀器主要用于硅單晶錠柱面定向，測(cè)定OF面，也可用于測(cè)定其它半導(dǎo)體單晶錠OF面。 晶錠垂直放置在工作臺(tái)上，在X-RAY的照射下，測(cè)定OF。
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