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DX-9B型回擺曲線定向儀
功能：
該儀器是半自動型角度測量儀,用于測定單晶材料的表面缺陷。單片機系統(tǒng)采集的實時數據傳送給計算機分析系統(tǒng)進行數據處理進而得到峰位角和半峰寬（FWHW）值，以此判斷晶面表面是生長的完整性。
特點：該設備具有檢測過程無破壞性，重復性檢測精度高，準確性高等特點，使檢測簡單、快捷，使用方便。
技術參數：
項目 | 參 數 |
輸入電源 | 單相交流220V，50Hz，0.3KW. |
大管電壓 | 30kV |
管電流 | 0-5mA連續(xù)可調 |
探測器 | 閃爍探測器，工作電壓高為DC1000V。 |
X射線管 | 銅靶，風扇冷卻，陽極接地。 |
測定角度 | 2θ=－10～120°，θ=－5～60°。 |
綜合精度 | 回擺曲線測定的一側精度為±5″，晶體角度定向的一側精度為±15〞（用標準石英片10ī1面或寶石拋光片測量，以廠內標準晶片量測）。 |
小讀數 | 1″ |
測試速度 | 一般樣品測一次需用時間18秒（掃描角度范圍±5ˊ），可測一次或者多次，樣品不動，反復多次測量同點重復性≤±1″（用標準石英拋光片 10ī1面或藍寶石襯底級拋光片測量）。 |
數據采集頻率 | 每1〞(1/3600度)采集一次數據。 |
存儲功能 | 電腦自動記錄每次測量結果，需保存測試記錄時，點擊轉存按鈕，將所有記錄保存在excel表中。 |
外形尺寸 | 主機750（長）×682（寬）×690（高）mm 電器930（長）×790寬）×780（高）mm |
儀器重量 | 140kg。 |
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