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主動(dòng)隔振臺(tái)+HERZ

主動(dòng)隔振臺(tái)，主動(dòng)減振臺(tái)，主動(dòng)防震臺(tái)，主動(dòng)式振系統(tǒng)。為各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發(fā)射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡。白光干涉儀，光刻機(jī)，微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器！超低頻隔震臺(tái)、防震臺(tái)、減震臺(tái)、除震臺(tái)！

產(chǎn)品特點(diǎn)

主動(dòng)隔振頻率 ：1Hz - 200Hz

• 被動(dòng)隔振頻率>200Hz

• 5-20ms的響應(yīng)時(shí)間

• 安裝簡(jiǎn)單，容易使用

• 穩(wěn)定性高，能無(wú)故障連續(xù)使用多年

• 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)

• 多種規(guī)格尺寸的面板支持各種研究及應(yīng)用

產(chǎn)品應(yīng)用

• SEM TEM

• UHV-SPM 光刻

• 光譜測(cè)量 高精度測(cè)量

• 其他高精密儀器

性能優(yōu)勢(shì)

• 系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除

• 六個(gè)空間方向的自由隔振

• 系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振

• 低頻隔振性能優(yōu)秀

• 無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求

技術(shù)參數(shù)