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原子力顯微鏡主動(dòng)減振臺(tái)/減震臺(tái)

品牌：HERZ

型號(hào)：AVI-600-XL

描述：AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，有利于為基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等領(lǐng)域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測(cè)量環(huán)境。AVI系列可在寬頻率范圍內(nèi)進(jìn)行隔振，為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉儀、微型檢測(cè)設(shè)備等提供優(yōu)異的隔振性能。

適用于各類(lèi)大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM，干擾儀防震臺(tái)，輪廓儀防震臺(tái)，電子太平防震臺(tái)，超快激光系統(tǒng)防震臺(tái)，時(shí)頻系統(tǒng)防震臺(tái)，大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)，激光設(shè)備主動(dòng)防震！

產(chǎn)品亮點(diǎn)：

六個(gè)空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動(dòng)隔振， >200Hz被動(dòng)隔振)

5-20ms響應(yīng)時(shí)間

低頻隔振性能優(yōu)異，安裝和使用簡(jiǎn)單

系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除

緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)

穩(wěn)定性高，能無(wú)故障連續(xù)使用多年

無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求

應(yīng)用范圍：

超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）

光刻工具

高精度計(jì)量工具

光譜儀器

升級(jí)選項(xiàng)：

可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來(lái)增強(qiáng)低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)：AVI-600XL/LP

系統(tǒng)配置：獨(dú)立隔振裝置 & 控制裝置

主動(dòng)隔振范圍：大致為1.0 Hz - 200 Hz

被動(dòng)隔振范圍:大致為200 Hz以上

顯示屏信號(hào):多路復(fù)用信號(hào)用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動(dòng)水平。

LEDs 指示輸出階段的過(guò)載情況。

單元尺寸(每個(gè)):318 x 856 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm

隔振單元重量: 34kg

負(fù)載能力:1200 kg (同等/低重心)

輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC， 50 - 60 Hz

功耗：通常27W

溫度范圍：5℃ - 40℃

相對(duì)濕度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室內(nèi)/室外使用：僅用于室內(nèi)

隔振效果：

性能對(duì)比圖：SEM 的研究人員在兩種獨(dú)特條件下進(jìn)行成像： 不含隔振系統(tǒng)和包含AVI系列隔振臺(tái)。當(dāng)使用AVI系列隔振臺(tái)搭載SEM時(shí)，所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測(cè)量清晰度得到大幅提升。

原子力顯微鏡主動(dòng)減振臺(tái)/減震臺(tái)