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X射線探測(cè)裝置XR-100CR
X射線探測(cè)裝置XR-100CR

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AMPTEK INC.

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XR-100CR型X射線硅漂移探測(cè)器

145eV的能量分辨率!

全固態(tài)設(shè)計(jì)!

熱電致冷技術(shù)——無(wú)需液氮!


XR-100CR型硅PIN探測(cè)器及配套電源PX5

XR-100在火星探測(cè)器上的應(yīng)用

XR-100探頭組件示意圖

XR-100CR系列產(chǎn)品由高性能X射線探頭,前置放大器(前放)和致冷系統(tǒng)組成,**采用熱電致冷技術(shù)保持硅PIN光電二極管的低溫工作環(huán)境,另外在兩級(jí)熱電致冷器上還安裝了輸入場(chǎng)效應(yīng)管(FET)和新型溫度反饋控制電路,這樣探頭組件的溫度可保持在約零下55攝氏度左右,并可通過(guò)組件內(nèi)置的溫度傳感器顯示實(shí)時(shí)溫度。探頭采用TO-8封裝,并利用不透光和不透氣(真空封裝適用)的薄鈹(Be)窗以實(shí)現(xiàn)封裝后的軟X射線探測(cè)。

XR-100CR系列產(chǎn)品無(wú)需采用昂貴的低溫制冷系統(tǒng)即可獲得非常優(yōu)越的性能,它標(biāo)志著X射線探測(cè)器生產(chǎn)技術(shù)上的一個(gè)突破。

產(chǎn)品特性:

1. 硅PIN光電二極管探頭;

2. 兩級(jí)熱電致冷器;

3. 探頭溫度實(shí)時(shí)顯示;

4. 鈹(Be)窗;

5. 多層準(zhǔn)直器;

6. 密封封裝(TO-8);

7. 檢測(cè)范圍寬,適于多種應(yīng)用;

8. 操作簡(jiǎn)單,易上手。

應(yīng)用范圍:

1. X射線熒光分析;

2. RoHS/WEE標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè);

3. 便攜式設(shè)備;

4. OEM應(yīng)用;

5. 核醫(yī)療學(xué);

6. 高校和科研院所教學(xué)研究;

7. 藝術(shù)和考古學(xué);

8. 生產(chǎn)過(guò)程監(jiān)控;

9. 穆斯堡爾譜儀;

10. 航空及宇航應(yīng)用;

11. 核電站輻射監(jiān)控;

12. 有毒物垃圾場(chǎng)檢測(cè);

13. 粒子誘發(fā)X射線熒光分析(PIXE)。

配件:

1. MP1型X射線熒光分析系統(tǒng)裝配平臺(tái)

2. 真空應(yīng)用相關(guān)配件;

3. 準(zhǔn)直套裝(高通量應(yīng)用);

4. 實(shí)驗(yàn)室XRF開(kāi)發(fā)套裝;

XRF設(shè)備由此開(kāi)始 ... ...

圖1. 6mm2/500μm尺寸硅PIN探測(cè)器測(cè)得的55Fe能譜
利用硅PIN探測(cè)器測(cè)量55Fe(5.9keV的峰)能譜時(shí)的能量分辨率為145eV到230eV不等(半高全寬,F(xiàn)WHM),具體分辨率和探測(cè)器類型以及成形時(shí)間(shaping time)常數(shù)有關(guān),詳情可參見(jiàn)選購(gòu)指南。


簡(jiǎn)要理論說(shuō)明

入射的X射線會(huì)和硅原子相互作用,X射線能量每損失3.62eV就會(huì)在硅晶體產(chǎn)生一個(gè)電子-空穴對(duì)。隨著入射能量的不同,能量損失或以光電效應(yīng)為主,或以康普頓散射(Compton scattering)為主。而探測(cè)器吸收X射線能量并產(chǎn)生電子-空穴對(duì)的幾率(即探測(cè)效率)隨著硅的厚度增大而變大。

為提高電子-空穴隊(duì)收集效率,需要在硅晶體上加約100200伏的電壓,而具體大小則取決于硅的厚度。在室溫下工作時(shí),該偏壓對(duì)半導(dǎo)體而言過(guò)高,很可能漏電甚至擊穿硅晶體。但在XR-100CR型探測(cè)器中**應(yīng)用了熱電制冷技術(shù),保證探頭在低溫下工作,這樣漏電流大大減少,從而可以實(shí)現(xiàn)在高偏壓下的正常工作。另外高偏壓還能降低探測(cè)器的電容,進(jìn)而降低系統(tǒng)噪聲。

熱電制冷器同時(shí)對(duì)硅探測(cè)器以及場(chǎng)效應(yīng)晶體管(為電荷敏感前置放大器提供輸入)進(jìn)行冷卻。對(duì)場(chǎng)效應(yīng)管的冷卻能減少它的漏電流,同時(shí)能增加跨導(dǎo)(transconductance),二者都能減少系統(tǒng)的電子學(xué)噪聲。

實(shí)際上光電二極管探測(cè)器無(wú)法直接光學(xué)自復(fù)位,因此XR-100CR系列產(chǎn)品應(yīng)用一種新穎的反饋控制方法來(lái)實(shí)現(xiàn)電荷敏感前置放大器的自復(fù)位。沒(méi)有繼續(xù)采用傳統(tǒng)產(chǎn)品中的復(fù)位晶體管,而是通過(guò)發(fā)射一個(gè)精確的電荷脈沖到場(chǎng)效應(yīng)管中來(lái)實(shí)現(xiàn)自復(fù)位,其中利用了到探測(cè)器的高壓連接和探測(cè)器電容。該方法避免了自復(fù)位晶體管的噪聲問(wèn)題,系統(tǒng)的能量分辨率進(jìn)一步提高。

利用熱電制冷的探測(cè)器內(nèi)部元件的溫度會(huì)隨著室溫的變化而改變,故為即時(shí)監(jiān)控這些元件的溫度,在硅基底上還安裝了一個(gè)用于溫度監(jiān)控的二極管芯片。低于-20oC的情況下,XR-100CR的性能在幾攝氏度的范圍內(nèi)都不會(huì)有明顯變化,故在通常室溫條件下使用時(shí)無(wú)需采用閉合環(huán)路的溫度反饋控制電路,但在OEM手持式X射線熒光譜儀設(shè)備應(yīng)用中則強(qiáng)烈推薦使用溫度反饋控制電路。主動(dòng)溫度控制(ATC)模塊在PX2CR中是可選的,而在PX5中是默認(rèn)標(biāo)配的。


產(chǎn)品參數(shù)

常規(guī)參數(shù)
探頭類型硅PIN探測(cè)器(Si-PIN)
硅基底尺寸6-25mm2
硅基底厚度300或500μm
準(zhǔn)直器多層準(zhǔn)直器
能量分辨率(@55Fe, 5.9keV峰)145-230eV FWHM (取決于探測(cè)器類型和成形時(shí)間常數(shù))
本底計(jì)數(shù)<3x10-3/s,(對(duì)應(yīng)2-150keV峰值,7mm2/300μm探測(cè)器)
鈹(Be)窗厚度1mil (25μm)或0.5mil (12.5μm)
電荷敏感型前置放大器Amptek定制設(shè)計(jì)(通過(guò)高壓連接復(fù)位)
增益穩(wěn)定性(溫飄)<20ppm>oC (一般情況下)
外殼尺寸3 x 1.75 x 1.13 inch, 7.6 x 4.4 x 2.9 cm
重量4.9 ounces (139g)
總功率<1W
保修期一年
產(chǎn)品壽命五到十年,因具體應(yīng)用而異
環(huán)境溫度0~+40oC
倉(cāng)儲(chǔ)和物流要求長(zhǎng)時(shí)間倉(cāng)儲(chǔ):干燥條件下存放十年以上

一般倉(cāng)儲(chǔ)/物流:-20到+50 oC,10%到90%濕度(無(wú)冷凝器)

TUV Certification

Certificate #: CU 72072412 01

Tested to: UL 61010-1: 2004 R7 .05

CAN/CSA-C22.2 61010-1: 2004

輸入?yún)?shù)
前置放大器電源電壓正負(fù)8到9V,電流15mA,噪聲峰峰值小于50mV
探頭電源電壓100到200V,電流1μA(因探頭種類而異);

輸入需要非常穩(wěn)定:<0.1%的波動(dòng)。

制冷器電源**電壓4V,噪聲峰峰值小于100mV,**電流350mA

注意:XR-100CR探測(cè)器自身包含溫度控制器

輸出參數(shù)
復(fù)位輸出波形XR100CR的輸出在+5和-5V之間;

復(fù)位周期會(huì)隨探測(cè)器類型和計(jì)數(shù)率不同而變化。

前置放大器靈敏度一般為1mV/keV(不同探測(cè)器可能略有不同)
前置放大器極性負(fù)脈沖信號(hào)輸出(**負(fù)載為1k歐姆)
前端放大器反饋經(jīng)過(guò)探測(cè)器電容復(fù)位
溫度顯示靈敏度PX2CR中770mV相當(dāng)于-50 oC;

利用PX5可通過(guò)軟件直接讀取溫度(單位:開(kāi)爾文)。


XR-100CR 連接器接口

前置放大器輸出同軸電纜BNC接頭
功率和信號(hào)六針雷莫(LEMO)接頭(Part# ERA.1S.306.CLL
互連電纜單獨(dú)使用XR100CR:六針雷莫接頭(Part# FFA.1S.306.CLAC57)到九針D型接口;配套使用PX5:六針雷莫到六針雷莫接頭;長(zhǎng)均五英尺。


六針LEMO接頭針腳輸出

針腳1溫度監(jiān)控二極管
針腳2探測(cè)器正偏壓(高壓),**為+100~200V
針腳3前置放大器-9V電源
針腳4前置放大器+9V電源
針腳5致冷器電源返回
針腳6致冷器電源輸入(電壓范圍:0~+4V,電流350mA)
外殼接地和屏蔽

選配組件

1. 其他厚度的Be窗可特別訂購(gòu)(0.3mil到7.5um);

2. 高通量應(yīng)用時(shí)候的準(zhǔn)直器套件;

3. 真空應(yīng)用相關(guān)配件;

4. OEM應(yīng)用;

5. X-123配置。

2a. X-123配置,包含探測(cè)器,前置放大器,數(shù)字處理器及電源的一體化設(shè)計(jì)。

2b. 探測(cè)器,前置放大器及封裝。

3. XR100CR探測(cè)器加長(zhǎng)選項(xiàng)


XR100CR的數(shù)字脈沖處理器和電源模塊

XR-100CR系列產(chǎn)品的電源由PX5(數(shù)字脈沖處理器和電源模塊組合)提供,而PX5自身的直流輸入來(lái)源于交流電適配器。PX5提供了數(shù)字脈沖處理放大器(0.2~100us峰化時(shí)間),多道分析功能以及探測(cè)器所需的所有電源。

XR-100CR/PX5的組合系統(tǒng)能確保開(kāi)機(jī)1分鐘后穩(wěn)定工作。

圖4. 采用XR100CR和PX5搭建的典型系統(tǒng)的框圖。
AMPTEK公司能提供不同的探測(cè)器和前置放大器配置以滿足不同需要,其對(duì)應(yīng)的針腳輸出和電壓類型不一樣。

圖5. 硅PIN和硅漂移探測(cè)器的分辨率和峰化/成形時(shí)間關(guān)系曲線

圖6. 不同峰化時(shí)間下探測(cè)器能量分辨率和輸入計(jì)數(shù)率(ICR)關(guān)系,對(duì)應(yīng)XR100CR和PX5情況

圖7. 不同峰化時(shí)間下的PX5輸出能力


準(zhǔn)直器的使用

為提高能譜測(cè)量的質(zhì)量,絕大部分Amptek生產(chǎn)的探測(cè)器都帶有內(nèi)部準(zhǔn)直器。

探測(cè)器有效面元(active volume)邊緣部分和X射線的相互作用會(huì)因不完全電荷收集產(chǎn)生一些小脈沖信號(hào),進(jìn)而影響測(cè)得的能譜數(shù)據(jù)。而且這些信號(hào)可能正處在用戶所關(guān)心的元素所在的能量范圍,降低了信噪比。而內(nèi)部準(zhǔn)直器則可以限制X射線只能打到有效面元內(nèi),這就避免了噪聲信號(hào)的產(chǎn)生。

不同類型的探測(cè)器中準(zhǔn)直器的應(yīng)用各有優(yōu)點(diǎn):提高峰本比(P/B);消除邊界效應(yīng);消除假尖峰信號(hào)。


真空環(huán)境中的應(yīng)用

XR-100CR型產(chǎn)品可以工作在10-8托的真空環(huán)境到大氣壓下工作,而真空環(huán)境應(yīng)用有如下兩種方案:

1) XR-100CR的探頭和前放均置于真空室內(nèi)部:

a. 為保證XR-100CR的正常工作,需避免器件過(guò)熱,并做好輸入的1W功率的良好導(dǎo)熱;即利用XR-100CR封裝上的四個(gè)安裝孔,根據(jù)具體真空室位形設(shè)計(jì)散熱,將器件熱量傳導(dǎo)到真空室壁上;

b. 在CF(Conflat Flange)刀口法蘭上利用可選的真空饋通端子(如9DVF型,九接口)連接X(jué)R-100CR和真空室外的PX5電源。

2) XR-100CR全部置于真空室外:需利用可選的真空探測(cè)器延長(zhǎng)組件(如EXV9型,長(zhǎng)9英寸)和標(biāo)準(zhǔn)CF刀口法蘭窗口(通過(guò)O型金屬環(huán)密封)配套。


效率曲線

圖8(線性坐標(biāo)). XR-100CR型探測(cè)器的對(duì)應(yīng)完全能量沉積的內(nèi)稟探測(cè)效率。

該效率對(duì)應(yīng)X射線能進(jìn)入該探測(cè)器前端并通過(guò)光電效應(yīng)沉積所有能量到探測(cè)器上的概率。

圖9(對(duì)數(shù)坐標(biāo)). 考慮各種效應(yīng)后的收集效率,其中也包含了光電效應(yīng)的概率影響。

光電效應(yīng)在低能段主導(dǎo),而該效應(yīng)對(duì)應(yīng)了能量的完全沉積,但在超過(guò)40keV后,康普頓(Compton)散射效應(yīng)逐漸顯著,不是所有能量均沉積在探測(cè)器上。

上面兩圖同時(shí)考慮了鈹窗(包括保護(hù)層)對(duì)X射線透過(guò)率的影響以及光子與硅探測(cè)器之間的相互作用。曲線的低能部分由鈹窗的厚度決定,而高能部分則取決于硅探測(cè)器的有效探測(cè)厚度。選用特定的鈹窗,可使90%的能量為2到3keV的入射光子到達(dá)探測(cè)器;選用特定的探測(cè)器,可接收到90%的9到12keV 的光子。

傳輸效率文件:包含傳輸效率方面系數(shù)和常見(jiàn)問(wèn)題解答的.zip格式文件,僅提供基本信息,不能作為定量分析依據(jù)。


XR-100在探路者(PathFinder)計(jì)劃中在火星著陸!??!

得益于該系列產(chǎn)品的獨(dú)特設(shè)計(jì)和可靠性,XR-100在探路者計(jì)劃中被選中,用于巖石和土壤成分分析。

來(lái)自火星的**個(gè)巖石元素成分能譜

圖10. 承蒙芝加哥大學(xué)提供。


完整的XRF系統(tǒng)

圖11. 完整的X射線熒光譜儀系統(tǒng)

圖12. XR100CR和Mini-X安裝在MP1平臺(tái)上示意圖

完整的X射線熒光譜儀系統(tǒng)包括:
1. XR-100CR型X射線探測(cè)器;

2. PX5型數(shù)字脈沖處理器,多道分析模塊和電源;

3. Mini-X型USB控制X射線管;

4. XRF-FP定量分析軟件;

5. MP1型XRF系統(tǒng)裝配平臺(tái)。


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