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BT系列工業(yè)級大尺寸等離子表面處理儀
BT系列工業(yè)級大尺寸等離子表面處理儀

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美國PE公司1980年就開始致力于電子行業(yè)使用的等離子設(shè)備研發(fā)及相關(guān)服務(wù), 至今已成為全美***的等離子系統(tǒng)解決方案專業(yè)供應(yīng)商, 其旗下PE系列, BT大尺寸系列,大氣壓系列, PCB專用系列, Roll-to-Roll系列的發(fā)展歷史已經(jīng)超過了30年, 廣泛應(yīng)用于全球各大小型生產(chǎn)及研發(fā)實驗室, 全球超過8000套用戶。

知名客戶如美國宇航局NASA, 波音Boeing, 霍尼韋爾Honeywell, 摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer, 軍用飛機領(lǐng)軍企業(yè)洛克希德馬丁Lockheed-Martin, 及全美各大名校及科研院所如哈佛大學(xué), 麻省理工, 萊斯大學(xué), 橡樹嶺國家實驗室等等。

美國PE擁有等離子技術(shù)領(lǐng)域里*頂尖的技術(shù), 憑借著多年研發(fā)和突破性創(chuàng)新, 先已擁有了多項技術(shù)**, 如**的溫控技術(shù)和**的靜電屏蔽技術(shù), 使其等離子設(shè)備能提供****的處理效率, 均勻性和可靠性, 其刻蝕清洗效率是市面上其他等離子設(shè)備的三倍以上。

應(yīng)用領(lǐng)域如下:

目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于:等離子清洗、刻蝕、改性、灰化、涂鍍和反應(yīng)離子刻蝕,在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學(xué)、半導(dǎo)體科研、半導(dǎo)體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

RIE系統(tǒng)刻蝕效果取決于氣體的流量,壓力和功率設(shè)置等方面。

我們設(shè)計和制造的反應(yīng)性離子蝕刻系統(tǒng),可以滿足客戶的任何需要,且可以根據(jù)客戶的要求定制適合的等離子系統(tǒng)。我們的等離子處理系統(tǒng),以提供快速,高品質(zhì)的蝕刻,低損傷,提供****的均勻性而著稱。

我們的等離子蝕刻機是理想的干蝕刻,目前正在采用的蝕刻:

半導(dǎo)體/集成電路

氮化鎵(甘)

氮化鋁鎵/氮化鎵(AlGaN/GaN)

砷化鎵/砷化鋁鎵(一般反避稅條款/ algaar)

砷化鎵(GaAs)

磷化銦、銦鋁砷/銦鎵砷化物(InP InGaAs/InAlAs)

硅(硅)

硅鍺(SiGe)

氮化硅陶瓷(Si3N4)

硅的溴化氫(sihbr)

硒化鋅(ZnSe)

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鋁(鋁)

鉻(鉻)

鉑(鉑)

鉬(鉬)

鈮(鈮)

鉭(鉭)

鈦(Ti)

鎢(鎢)

電介質(zhì)

銦錫氧化物(ITO)

鋯鈦酸鉛(PZT)

碳化硅(碳化硅)

塑料/聚合物

聚四氟乙烯(PTFE)

聚甲醛(POM)

聚苯并咪唑(PBI)

聚醚醚酮(PEEK)

聚酰亞胺(聚酰亞胺)

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全氟烷氧基烷(PFA)

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