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光譜型橢偏儀 (spectroscopic ellipsometer)
原產(chǎn)國(guó)：德國(guó)
儀器特點(diǎn)：
? 可直接得到光學(xué)參數(shù)、n值（折射率）、k值（吸收率）及厚度，并可作在線即時(shí)測(cè)量；
? 可作各光學(xué)參數(shù)的整理歸檔，并以各種不同模式輸出；
? 非接觸式測(cè)量，不刮傷損壞測(cè)試樣品；
? 體積小巧：由高性能的微型光纖光譜儀構(gòu)成分光逐漸，體積小巧；
? 使用簡(jiǎn)單方便：由計(jì)算機(jī)控制測(cè)量，只需按一個(gè)按鍵，即可完成薄膜特性檢測(cè)。
特性參數(shù)：
規(guī)格型號(hào) | SpecEI-2000光譜型橢偏儀 |
厚度范圍 | 1nm～10um |
厚度分辨率 | 0.1nm (1埃) |
重現(xiàn)性： | 70nm SiO2 on Si cos(Delta) ±0.0003， tan(Psi) ±0.0002 |
光斑大小 | 300×1200 um（小尺寸光斑可選配） |
光學(xué)參數(shù) | 可得出：n（折射率）、k（吸收率）值 |
折射率精度 | 0.005 |
光譜范圍 | 400～1000nm （可選290～1050nm） |
光譜分辨率 | 1 nm |
入射角度 | 70°（其他角度可選配） |
薄膜層數(shù) | > 3層 |
參考測(cè)量 | 不需要參考，直接測(cè)量 |
膜層材料 | 波片、光學(xué)材料等 |
透明膜 | 可以測(cè)透明膜 |
測(cè)量速度 | 7～13秒 |
樣品定位**允許誤差 | 高度允許誤差±3mm；光入射角允許±1° 不需進(jìn)行高度和傾斜角調(diào)整 |
顯微鏡 | 可與顯微鏡匹配使用 |
可視 | 可顯微觀察，與顯微鏡匹配使用 |
掃描測(cè)量 | 可以掃描測(cè)量，掃描直徑6英寸或12英寸 |
真空應(yīng)用 | 由用戶自行選購(gòu)后，可以在真空環(huán)境中使用 |
SpecEL-V1.1 | 操作界面友好，使用簡(jiǎn)單的測(cè)量軟件。 測(cè)量膜厚、n值、k值、膜層結(jié)構(gòu)編輯功能 |
可用于：在線過(guò)程監(jiān)控或離線產(chǎn)品檢測(cè)
橢偏儀原理：
橢圓偏光法是基于測(cè)量偏振光經(jīng)過(guò)樣品反射后振幅和相位的改變研究材料的性質(zhì)。光譜型橢偏儀在全部光譜范圍內(nèi)(而不是特定的波長(zhǎng))測(cè)量Psi和Delta，通過(guò)構(gòu)建物理模型對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析，*終得到膜厚、折光系數(shù)、吸收、粗糙度、組成比率等結(jié)果。
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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