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全自動真空探針臺由美國MicroXact公司生產，該探針臺通過真空系統(tǒng)、氣體壓力系統(tǒng)及自動化軟件實現(xiàn)對系統(tǒng)真空腔內真空度的精確控制，通過光學顯微鏡及搭配的數(shù)字成像系統(tǒng)實現(xiàn)對測試晶圓影像的捕捉及存儲，并通過軟件控制自動馬達根據(jù)設定程序實現(xiàn)晶圓測試過程中的自動對準及移動測試功能。同時配置的變溫載物臺通過加熱和冷卻裝置實現(xiàn)樣品的變溫測試目的。
技術規(guī)格：
1. 支持**晶圓尺寸：200mm
2. X-Y軸移動重復性：+/- 2 mm
3. X-Y軸移動分辨率：100 nm
4. Z軸移動重復性：+/-2mm，移動分辨率：100nm
5. 可配置4至6只探針臂，可選配RF探針臂，可選配探針卡
6. 顯微鏡分辨率：4mm
7. 可測試溫度：77K~680K
8. MicroXact's XactTest™軟件全自動控制壓力及平臺移動。
暫無數(shù)據(jù)！
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