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Tergeo-EM 等離子清洗機(jī)

● 集成直接浸泡和遠(yuǎn)程/Downstream清洗模式

● 實(shí)時(shí)檢測等離子體強(qiáng)度的等離子體傳感器

● 可毫秒級別短脈沖操作。

● All-in-one實(shí)驗(yàn)室等離子蝕刻、處理和清洗系統(tǒng)。

● 用于批量加工的大型樣品室，帶有矩形石英樣品托盤

● 雙TEM 適配器，可配置為支持兩個(gè)不同品牌的樣品桿

支持不同TEM/SEM系統(tǒng)

敏感的樣品如何用傳統(tǒng)等離子清洗？

通常需要很高的射頻功率來點(diǎn)燃等離子體，但是一旦等離子被點(diǎn)燃，等離子就可以較低的射頻功率維持。但是傳統(tǒng)的等離子體清洗機(jī)很難自動、可靠地產(chǎn)生極弱的等離子體來處理諸如TEM碳膜和對熱等敏感樣的品。

為什么Tergeo EM可以輕松處理易破和熱敏性樣品？

Tergeo EM等離子清洗機(jī)集成SmartClean ^TM獨(dú)特的等離子傳感器，可以實(shí)時(shí)測量等離子強(qiáng)度，系統(tǒng)控制器不斷地了解等離子體的狀態(tài)。如果等離子體未能在低射頻功率設(shè)置下點(diǎn)燃，系統(tǒng)將自動增加射頻功率，直到等離子體點(diǎn)燃。一旦等離子體點(diǎn)燃，系統(tǒng)將立即將射頻功率降低到配方設(shè)置。這一功能使Tergeo EM的射頻功率比同產(chǎn)品功率低得多。

同系統(tǒng)中包含兩種直接浸泡和遠(yuǎn)程Downstream清洗模式。遠(yuǎn)程Downstream清洗模式提供了一種溫和的處理方法，可以顯著減少傳統(tǒng)直接模式等離子體系統(tǒng)中的樣品加熱、離子濺射問題。

系統(tǒng)還可選擇脈沖模式操作，該模式能夠可靠地產(chǎn)生平均功率小于0.25瓦的極弱等離子體。