遠(yuǎn)程控制等離子清洗機

型號：EM-KLEEN

用于電子顯微鏡等分析儀器如SEM、FIB、TEM樣品室的清潔、XPS和SIMS、ASE 系統(tǒng)

源于勞倫斯伯克利國家重點實驗室的SmartClean^TM

技術(shù)，設(shè)計精巧，智能，功能強大

EM-KLEEN 構(gòu)成：

Pirani壓力傳感器 ：實時監(jiān)測樣品室壓力，可以作為安全模式的安全聯(lián)鎖觸發(fā)器，并未功能計數(shù)器加載事件

自動氣體流量控制器 ：很容易真空抽到10-7 Torr，自動調(diào)節(jié)氣體流量

等離子強度傳感器 ：用戶可實時監(jiān)測等離子強度狀態(tài)

溫度傳感器 : 提供聯(lián)鎖保護，防止長時間工作電源工作溫度過高

冷卻風(fēng)扇 ：大功率風(fēng)冷冷卻，而不會導(dǎo)致電源過熱

液晶觸摸屏控制器 ：嵌入式微處理器，串聯(lián)工作，自動控制系統(tǒng)，并為客戶提供保護

如何在真空環(huán)境中清除碳?xì)浠衔镂廴疚铮?/span>

應(yīng)用領(lǐng)域

SEM腔體清洗10分鐘前后的變化對比

6分鐘快速去除碳標(biāo)記