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Fischione微束定點(diǎn)離子減薄系統(tǒng)1040
Fischione微束定點(diǎn)離子減薄系統(tǒng)1040

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上海微納國(guó)際貿(mào)易有限公司

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技術(shù)特色:

獨(dú)有聚焦微束惰性氣體離子束
低修復(fù)電壓:50 eV
聚焦束斑直徑:1μm
定位精度高,去除非晶層且不產(chǎn)生再沉積現(xiàn)象
采用氬離子束激發(fā)二次電子成像同時(shí)實(shí)現(xiàn)修復(fù)及定位
離子束可以對(duì)準(zhǔn)定點(diǎn)位置或在一個(gè)選定的區(qū)域進(jìn)行進(jìn)行精細(xì)修復(fù)
配備液氮冷臺(tái),去除熱損傷
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售后服務(wù)

10分

易用性

10分

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