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技術(shù)優(yōu)勢：
1、 清洗功率可調(diào)節(jié)：0 to 99 watts；
2、 操作壓力可調(diào)節(jié)：from 2 torr to 1 mTorr；
3、 清洗速度快；
4、 無需破真空進行清洗，實現(xiàn)原位清洗；
5、 即插即用設(shè)計方案，無需集成；
6、 采用從上到下清洗模式，降低對樣品的損傷
7、微量等離子激發(fā)，消除清洗和成像交換之間的圖像形成的遲滯現(xiàn)象；
8、擴展性好，可配用各類臺式電鏡、透射電鏡原位清洗以及樣品清洗使用
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