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SD-3000型離子濺射儀外觀亮麗做工精致，旋鈕式定時器檔位清晰，手感舒適；
特殊定制的真空指示和電流指示表頭沉穩(wěn)大；
前面板上的微泄漏氣閥門可以連接多種氣體；
調(diào)節(jié)濺射電流大小，成膜速度快，質(zhì)量好；
高壓輸出可使成膜更加牢固快速。
功能控制和定時皆由CPU調(diào)度，使用范圍廣。
工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及選擇所需的電離氣體，獲得**鍍膜效果。
配有高位定性的飛躍真空泵。
SD-3000型是一款針對做電極研究和半導(dǎo)體研究的儀器，相對于基礎(chǔ)型濺射儀，SD-3000型的鍍層和樣品之間更貼合，更有附著力，以便后續(xù)的研究。
需要鍍膜的樣品
1、電子束敏感的樣品:
主要包括生物樣品，塑料樣品等。S EM中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料，那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護層的作用，防止此類損傷；
2、非導(dǎo)電的樣品:
由于樣品不導(dǎo)電，其表 面帶有“電子陷阱”， 這種表面上的電子積累 被稱為“充電”。為了 消除荷電效應(yīng)，可在樣 品表面鍍一層金屬導(dǎo)電 層，鍍層作為一個導(dǎo)電 通道，將充電電子從材 料表面轉(zhuǎn)移走，消除荷 電效應(yīng)。在掃描電鏡成 像時，濺射材料增加信 噪比，從而獲得更好的成像質(zhì)量。
3、新材料:非導(dǎo)電材料和半導(dǎo)體材料
參數(shù)：
?主機規(guī)格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）
?靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）
?靶材：Au（標配）
?樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）
?靶材尺寸：Ф50mm
?真空指示表： **真空度：≤ 4X10-2 mbar
?離子電流表： **電流：50mA
?定時器： *長時間：1-360s
?微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管
?可通入氣體： 多種
?**電壓： -2800 DCV
?機械泵：標準配置2L/S（國產(chǎn)VRD-8）
特點：
1、簡單、經(jīng)濟、可靠、外觀精美。
2、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。
3、SETPLASMA手動啟動按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷。
4、真空保護可避免真空過低造成設(shè)備短路。
5、同時可以通過更換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達到更細顆粒的涂層。
6、通過通入不同的惰性氣體以達到更純凈的涂層。
7、涂層牢固，特別適用于非導(dǎo)體材料實驗電極制作和半導(dǎo)體材料的研究。
暫無數(shù)據(jù)！
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