看了濺射蒸碳儀SD-900C的用戶又看了
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SD-900C 型離子濺射儀外觀亮麗做工精致，是針對SEM用戶研制生產(chǎn)的一款既能濺射金、銀、銅、鉑又能蒸發(fā)碳膜的一機多用設(shè)備。此款機器具有小巧方便操作簡單成膜效果好之優(yōu)點，可以滿足廣大SEM用戶隨時樣品制備的需要。
工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及選擇所需的電離氣體，獲得**鍍膜效果。
離子濺射部分是比較常用的鍍膜方式，是以金屬靶材和樣品臺分別作為陰陽兩極，在真空狀態(tài)下產(chǎn)生輝光放電，使金原子與殘存的氣體不斷碰撞而沉積成薄膜?？梢允褂肁u，Pt，Cr、Al、Cu等靶材。
具有成膜均勻，操作簡單，所需時間短，過程可控等優(yōu)點。
熱蒸發(fā)部分是把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi)，通過對鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積與基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程。通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史*悠久的鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)主要用于蒸發(fā)碳。使用超純的碳纖維繩為嚴格的高分辨掃描電鏡、透射電鏡、EBSD及探針分析提供高質(zhì)量的鍍膜處理。因為碳原子能夠直接沉積在樣品表面而不發(fā)生橫向移動，所以碳能夠形成小于1nm的顆粒。
參數(shù)：
儀器尺寸 ：主機 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
蒸鍍 300mm×360mm×160mm（W×D×H）
真空樣品室： 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm（D×H）
靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）
濺射靶材：Au
濺射靶材大小：φ50mm
樣品臺：樣品臺尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺，樣品臺可調(diào)節(jié)高度。也可根據(jù) 自身要求定制樣品臺
濺射工作電壓：0-1600V (DC)可調(diào)
濺射電流：0-50mA
濺射定時：0-360S
蒸碳電流 0-100A(AC)
蒸發(fā)材料：碳纖維
蒸發(fā)工作電壓：0-30V
蒸發(fā)時間：0-1S微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管
可通入氣體： 多種
輸入電壓：220V(可做110V)，50HZ
真空泵： 2升機械旋轉(zhuǎn)泵（國產(chǎn)VRD-8）
特點：
1、簡單、經(jīng)濟、可靠、外觀精美。
2、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。
3、SETPLASMA手動啟動按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷。
4、真空保護可避免真空過低造成設(shè)備短路。
5、同時可以通過更換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達到更細顆粒的涂層。
6、碳纖維繩更加細膩均勻、快速，更有利于分析材料結(jié)構(gòu)
暫無數(shù)據(jù)！
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