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• 立方/任意未知方向：Si， Ge， GaAs， GaP， InP

• 立方/特殊取向：Ag， Au， Ni， Pt， GaSb， InAs， InSb， AlSb， ZnTe， CdTe， SiC₃C， PbS， PbTe， SnTe， MgO， LiF， MgAl₂O₄， SrTiO₃， LaTiO₃

• 正方：MgF₂， TiO₂， SrLaAlO₄

• 六方/三角：SiC 2H， 4H， 6H， 15R， GaN， ZnO， LiNbO₃， SiO₂(石英)，Al₂O₃(藍(lán)寶石)，GaPO₄， La₃Ga₅SiO₁₄

• 斜方晶系：Mg₂SiO₄ NdGaO₃

• 可根據(jù)客戶(hù)的要求進(jìn)一步選料

SDCOM的應(yīng)用

平面方向的標(biāo)記和測(cè)量

Omega掃描能夠在一次測(cè)量中確定完整的晶體方位。因此，平面方向可以直接識(shí)別。這是一個(gè)有用的功能，以標(biāo)記在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

在晶圓片的注入和光刻過(guò)程中，平面或凹槽作為定位標(biāo)記。經(jīng)過(guò)加工后，晶圓片攜帶數(shù)百個(gè)芯片，需要通過(guò)切割將其分離。

晶片必須正確地對(duì)準(zhǔn)晶圓片上易于切割的晶格面。因此，檢查平臺(tái)或缺口的位置是必要的。為了確定平面或缺口的位置，必須測(cè)量平面內(nèi)的部件。

該儀器通過(guò)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)，可以將任何平面方向轉(zhuǎn)換成用戶(hù)指定的特定位置。這簡(jiǎn)化了將標(biāo)記應(yīng)用到特定平面方向的任務(wù)，例如必須定義平面方向時(shí)。

對(duì)于高吞吐量應(yīng)用程序，可提供自動(dòng)測(cè)量解決方案。