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牛津儀器快速掃描電容顯微鏡
牛津儀器快速掃描電容顯微鏡

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牛津儀器快速掃描電容顯微鏡

品牌

牛津

產(chǎn)地

英國

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牛津儀器科技(上海)有限公司

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掃描電容顯微鏡(SCM)是一種表征材料納米電學性質(zhì)的原子力顯微鏡(AFM)成像技術,它使用微波射頻(RF)信號來探測半導體和其它種類樣品中的電荷,載流子的位置,摻雜水平和摻雜類型(p型和n型)等。全新快速掃描電容顯微鏡 SCM可以在牛津儀器的 Asylum Research 的快速掃描 Cypher 和 Jupiter XR AFM 平臺上使用。

牛津儀器Asylum Research SCM模式的獨特之處在于,它不僅可以測量微分電容(dC/dV),還可以測量分辨率低至1aF的電容,而且是可以直接測量電容。與傳統(tǒng)的SCM相比,它具有更高的分辨率和更快的掃描速度。更高的靈敏度允許探測金屬和絕緣體,以及傳統(tǒng)半導體器件以外的非線性材料——包括那些不形成自然氧化物層的材料。


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