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落后日本20年？半導體制造裝置用精密陶瓷
【編者前言】按照目前的國際環(huán)境發(fā)展趨勢，無論從成本還是從半導體生產(chǎn)安全性考慮，未來半導體設備中陶瓷零部件必須實現(xiàn)本土生產(chǎn)采購。半導體設備與材料產(chǎn)業(yè)的迫切需求會推動半導體裝備用陶瓷零部件的研發(fā)與生產(chǎn)。【詳細】
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