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上海皓越電爐技術(shù)有限公司
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產(chǎn)品詳情
CVD管式爐
CVD管式爐的圖片
參考報(bào)價(jià):
10-20萬(wàn)元
品牌:
皓越科技
關(guān)注度:
15203
樣本:
暫無(wú)
型號(hào):
HTF1200-5/20-4F-HV
產(chǎn)地:
上海
信息完整度:
典型用戶(hù):
暫無(wú)
適用物料:
多種可用
操作方式:
間歇式
索取資料及報(bào)價(jià)
認(rèn)證信息
高級(jí)會(huì)員 第 7
名 稱(chēng):上海皓越電爐技術(shù)有限公司
認(rèn) 證:工商信息已核實(shí)
訪(fǎng)問(wèn)量:415785
手機(jī)網(wǎng)站
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產(chǎn)品分類(lèi)
公司品牌
品牌傳達(dá)企業(yè)理念
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品應(yīng)用

    高真空CVD系統(tǒng)是一款專(zhuān)業(yè)在沉底材料上生長(zhǎng)高質(zhì)量石墨烯、碳納米管、碳化硅的專(zhuān)用設(shè)備,廣泛應(yīng)用于在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)

高真空CVD系統(tǒng)主要由高溫腔體、石英管、石英支架、氣路系統(tǒng)、分子泵機(jī)組、自動(dòng)化控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)等組成。

1、沉底材料可采用銅箔、石墨等;

2、生長(zhǎng)腔體采用進(jìn)口高純石英管,配石英支架、為石墨烯等材料的生長(zhǎng)提供潔凈環(huán)境;

3、爐膛采用進(jìn)口高純氧化鋁多晶體纖維,不易掉粉、壽命長(zhǎng)且保溫性能好。加熱絲采用優(yōu)質(zhì)摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲,溫場(chǎng)均勻,能耗低;

4、密封法蘭均采用不銹鋼材質(zhì),配水冷套,可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作;

5、氣路系統(tǒng)采用兩路質(zhì)量流量計(jì)(可拓展多路),配預(yù)混系統(tǒng);

6、氣體種類(lèi): He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6;

7、溫度、氣體、真空、冷卻水等通過(guò)PLC控制,通過(guò)PC實(shí)時(shí)控制和顯示相關(guān)的實(shí)驗(yàn)參數(shù),自動(dòng)保存實(shí)驗(yàn)參數(shù),也可采用手動(dòng)控制;

8、系統(tǒng)采用集成化設(shè)計(jì),控制系統(tǒng)、混氣罐、質(zhì)量流量計(jì)等均內(nèi)置在箱體內(nèi)部,占地面積小。整體安裝四個(gè)可移動(dòng)輪子,方便整體移動(dòng)。


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