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復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司

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Technoorg Linda 新品發(fā)布!引領(lǐng)精密制樣技術(shù)新高度

Technoorg Linda 新品發(fā)布!引領(lǐng)精密制樣技術(shù)新高度
復(fù)納科技  2024-06-15  |  閱讀:915

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在當(dāng)今高科技行業(yè)中,精密離子研磨技術(shù)的進(jìn)步對(duì)材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造和納米技術(shù)的發(fā)展至關(guān)重要。


作為行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者,Technoorg Linda 再次突破創(chuàng)新,在匈牙利首都布達(dá)佩斯剛剛結(jié)束的全球會(huì)議中正式發(fā)布了其最新產(chǎn)品 —— 離子研磨儀 SEMPREP SMART 與離子精修系統(tǒng) Gentle Ion Beam(GIB),為全球用戶帶來(lái)更加高效、精確的解決方案。


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復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司作為 Technoorg Linda 在中國(guó)的獨(dú)家合作伙伴,我們?yōu)榭蛻籼峁┤轿坏漠a(chǎn)品培訓(xùn)、技術(shù)支持和售后服務(wù)。


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當(dāng)前在國(guó)內(nèi)市場(chǎng),Technoorg Linda 專注于引進(jìn)并推廣 SEM / TEM / FIB 樣品制備系列設(shè)備。本次發(fā)布的新產(chǎn)品 SEMPREP SMART 離子研磨儀主要用于掃描電鏡(SEM)樣品制備,Gentle Ion Beam(GIB)精修離子束系統(tǒng)主要用于雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后,對(duì) TEM 樣品進(jìn)行最終拋光和溫和的表面清潔。


 01

新產(chǎn)品

SEMPREP SMART 離子研磨儀 

SEMPREP SMART 配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。用于掃描電子顯微鏡(SEM)和電子背散射衍射(EBSD)樣品的最終加工和清潔。離子加工可以改進(jìn)和清潔機(jī)械拋光的 SEM 樣品,并為 EBSD 分析制備無(wú)損表面。該設(shè)備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質(zhì)量的樣品,例如在半導(dǎo)體測(cè)試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實(shí)現(xiàn)出色的效果。


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SEMPREP SMART 產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 先進(jìn)的離子槍設(shè)計(jì)和自動(dòng)化功能

采用全球獨(dú)家超高能離子槍,最高可達(dá) 16keV,帶來(lái)更快的加工速率,更優(yōu)異的加工效果。 


  • 新型智能化操作軟件 

Technoorg Linda 的新產(chǎn)品在設(shè)計(jì)上充分考慮了用戶的實(shí)際需求,開(kāi)創(chuàng)性的將 AI 算法集成到系統(tǒng)中,使操作更加智能化,提供多種操作模式:


  1. 配方庫(kù)-離線:基于我們長(zhǎng)期的經(jīng)驗(yàn)積累

  2. 自動(dòng)配方生成 - 離線:基于簡(jiǎn)短問(wèn)卷

  3. Linda AI - 在線:實(shí)時(shí)搜索最佳解決方案,訪問(wèn)龐大數(shù)據(jù)庫(kù)以獲取最佳結(jié)果


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高效,全面,智能化的理解用戶需求,提供即時(shí)的反饋和解決方案


  • 高分辨率數(shù)字相機(jī)

在處理過(guò)程中用于樣品觀察 


  • 全新的對(duì)位樣品臺(tái)

在進(jìn)行 90° 截面樣品加工時(shí)帶來(lái)更加精確的樣品定位


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  • 可選的新型 LN2 冷卻系統(tǒng)

為用戶帶來(lái)更加高效及精確的長(zhǎng)時(shí)間控溫


使用氬離子束進(jìn)行加工

  • 平面加工模式


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在樣品傾斜角小于 10 ° 且連續(xù)旋轉(zhuǎn)的條件下進(jìn)行加工


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Cu-7.5wt.%Al 的 EBSD 晶粒取向分布 (a) 和晶界類型 (b)


  • 90° 截面加工模式


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使用鈦或玻璃擋板進(jìn)行連續(xù)搖擺的截面加工


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TFT 板的 90° 加工,位置精度為 ±1 微米


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加工點(diǎn)后方的 TFT

表面細(xì)節(jié)


新產(chǎn)品 02

GIB 精修離子束系統(tǒng)

Technoorg Linda 的精修離子束系統(tǒng)(GIB)適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無(wú)定形和氧化物表面層。當(dāng)?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時(shí),其作用尤為明顯。有了集成離子槍,就可以在研究之前對(duì)樣品進(jìn)行精修。實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個(gè)重要應(yīng)用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后,對(duì) TEM 樣品進(jìn)行最終拋光和溫和的表面清潔。


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GIB 精修離子束系統(tǒng) 產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 儀器控制單元

電子元件、閉環(huán)冷卻系統(tǒng)和氬氣壓力傳感器均位于控制單元內(nèi)。高純度(99.999%)氬氣用于供應(yīng)離子源,其流量由高精度針閥調(diào)節(jié)??刂栖浖?Windows 操作系統(tǒng)下運(yùn)行,可以單獨(dú)安裝在一臺(tái)計(jì)算機(jī)上,也可以安裝在 SEM 的計(jì)算機(jī)上


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  • 可與掃描電鏡集成

帶波紋管的傳輸系統(tǒng)可通過(guò)連接管安裝到掃描電鏡上。連接管輸出法蘭的尺寸與相應(yīng)的 SEM 端口尺寸相匹配。通過(guò)線性傳輸系統(tǒng)提供離子源流動(dòng)性,可實(shí)現(xiàn)理想的工作距離(15-30 mm)。


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  • 低能量氬離子槍

低能量離子槍的直徑和長(zhǎng)度均為 50mm。氬離子束的能量范圍:100keV - 2keV。2keV 時(shí)的最大束流為 70μA。離子束為寬束,F(xiàn)WHM 為 2mm。


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歡迎您隨時(shí)聯(lián)系我們獲取更多產(chǎn)品詳情和應(yīng)用案例:


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咨詢熱線:400 857 8882


“得益于新發(fā)布的產(chǎn)品,Technoorg Linda 榮獲匈牙利創(chuàng)新獎(jiǎng)?!?/p>


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在議會(huì)大廳舉行的頒獎(jiǎng)儀式上,Technoorg Linda 榮獲國(guó)家研究、發(fā)展和創(chuàng)新辦公室頒發(fā)的“From Initial Research to the Market”類別獎(jiǎng)項(xiàng)。


評(píng)審委員會(huì)由文化和創(chuàng)新部長(zhǎng)領(lǐng)導(dǎo),由科學(xué)家和公認(rèn)的經(jīng)濟(jì)專家組成,主要根據(jù)經(jīng)濟(jì)成果和社會(huì)效益評(píng)選出杰出的創(chuàng)新成果。


感謝匈牙利創(chuàng)新獎(jiǎng)委員會(huì)、Magyar Innovációs Sz?vetség 和 Nemzeti Kutatási、Fejlesztési és Innovációs Hivatal(NKFI Hivatal)給予的這一難以置信的榮譽(yù)。


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About

Technoorg Linda

Technoorg Linda 成立于 1990 年,是全球領(lǐng)先的離子束制樣設(shè)備制造商。公司始終以技術(shù)創(chuàng)新為核心,以客戶需求為導(dǎo)向,致力于為全球用戶提供最先進(jìn)、最可靠的解決方案。多年來(lái),Technoorg Linda 憑借其卓越的產(chǎn)品質(zhì)量和專業(yè)的技術(shù)服務(wù),贏得了業(yè)界的廣泛認(rèn)可和信賴。


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無(wú)論是在科研實(shí)驗(yàn)室,還是在工業(yè)生產(chǎn)線上,Technoorg Linda 的新產(chǎn)品都將成為您不可或缺的得力助手。讓我們共同期待,這一劃時(shí)代的創(chuàng)新產(chǎn)品為行業(yè)帶來(lái)的無(wú)限可能!

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