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*本文轉(zhuǎn)載自中國科大理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心微信公眾號(hào)

（原標(biāo)題：中心首臺(tái)國產(chǎn)高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡順利通過驗(yàn)收）

近日，中國科大理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心電鏡影像平臺(tái)購置的國儀量子超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X在中心調(diào)試完畢，各項(xiàng)指標(biāo)符合要求，順利通過專家組聯(lián)合驗(yàn)收。該設(shè)備于11月22日投入試運(yùn)行，試運(yùn)行期間校內(nèi)用戶免費(fèi)。

驗(yàn)收結(jié)束后，國儀量子代表正式遞交售后服務(wù)承諾書。

儀器位于中國科大中區(qū)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心一樓128房間，有需要的用戶可登中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化實(shí)驗(yàn)中心網(wǎng)站進(jìn)行預(yù)約。

國儀量子原位高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X為國儀量子技術(shù)（合肥）股份有限公司自主研制的超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，該設(shè)備具有穩(wěn)定的電子光學(xué)系統(tǒng)，通過電子光學(xué)鏡筒設(shè)計(jì)優(yōu)化，綜合像差大大降低，實(shí)現(xiàn)了超高分辨率。擁有鏡筒內(nèi)高壓隧道模式，可在低壓下直接對(duì)高低起伏的不導(dǎo)電樣品進(jìn)行高分辨成像。以其超高分辨率和高穩(wěn)定性，可在先進(jìn)納米結(jié)構(gòu)和納米材料的研究、高端芯片半導(dǎo)體的研發(fā)制造等領(lǐng)域發(fā)揮其性能優(yōu)勢(shì)，可觀察物體二次電子像、成分襯度像、電子通道襯度像，同時(shí)可進(jìn)行X射線能譜分析、電子背散射衍射分析、原位微納米力學(xué)性能測(cè)試。配備了空氣敏感樣品轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，可對(duì)空氣敏感樣品進(jìn)行形貌、EDS及EBSD表征。

主要參數(shù)

• 二次電子圖像分辨率：0.6 nm @ 15 KV ，1.0 nm @ 1 KV

• 放大倍數(shù)：1x～2,500,000x

• 加速電壓：20V～30 kV

• 能譜儀（牛津AZtecLive UltimMax100 X）：分辨率（MnKa）127 eV，分析元素范圍：5B ～ 92U

• 電子背散射衍射儀（牛津Symmetry S3）: 高速低噪音CMOS相機(jī)，分辨率1244*1024;在線解析最高標(biāo)定速度5700點(diǎn)/秒, 取向精度0.01度 

• 原位納米壓痕系統(tǒng)（牛津FT-NMT04）: 20mN力傳感器,載荷分辨率: ≤50 nN （噪音值）；最大壓痕深度25μm,位移分辨率: ≤0.05 nm（噪音值）；最大納米壓痕點(diǎn)陣測(cè)量面積：10mm x 10mm；最大疲勞測(cè)試頻率：500Hz

應(yīng)用案例

形貌像：

空氣敏感樣品轉(zhuǎn)移系統(tǒng)：純Li氣氛保護(hù)前后樣品形貌：

低活化鐵素體/馬氏體鋼晶粒取向圖：

單晶Si微柱壓縮動(dòng)畫：