中國粉體網(wǎng)訊 2024年12月24日，由中國粉體網(wǎng)主辦的“2024半導(dǎo)體行業(yè)用金剛石材料技術(shù)大會”在河南鄭州濱河假日酒店成功召開。大會匯聚了金剛石材料生產(chǎn)企業(yè)、儀器裝備企業(yè)，科研院所的200余名行業(yè)精英，圍繞半導(dǎo)體行業(yè)用金剛石材料的應(yīng)用前景、技術(shù)難點、產(chǎn)業(yè)發(fā)展、設(shè)備應(yīng)用等方向，深入探討了當(dāng)前行業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀，共同展望了行業(yè)發(fā)展趨勢。
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會議現(xiàn)場
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中國粉體網(wǎng)會展事業(yè)部總經(jīng)理孔德宇先生主持開幕式和本屆大會
本屆大會邀請了河南工業(yè)大學(xué)栗正新教授、西安交通大學(xué)王宏興教授、哈爾濱工業(yè)大學(xué)朱嘉琦教授、廣東工業(yè)大學(xué)路家斌教授、西安電子科技大學(xué)張金風(fēng)教授、南京大學(xué)修向前教授等13位在金剛石行業(yè)深耕多年的專家教授、技術(shù)大咖前來演講交流。
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行業(yè)專家同與會代表面對面交流
大會精彩報告
在合成人造金剛石方面，HPHT方法成本低，長晶速度快且技術(shù)成熟，適合大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)，國內(nèi)應(yīng)用廣泛。栗正新教授在報告中具體介紹了HPHT法在制備大尺寸單晶、多晶、BDD和鉆-銅導(dǎo)熱材料等方面的研究現(xiàn)狀與趨勢。
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河南工業(yè)大學(xué)栗正新教授作《HPHT制備功能金剛石材料研究》報告
金剛石材料在半導(dǎo)體行業(yè)中炙手可熱。王宏興教授在報告中結(jié)合金剛石摻雜、器件設(shè)計等方面，清晰展現(xiàn)了金剛石半導(dǎo)體前沿技術(shù)、材料和實踐有機結(jié)合的產(chǎn)業(yè)全景。
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西安交通大學(xué)王宏興教授作《金剛石半導(dǎo)體的新進展》報告
高品質(zhì)一直以來就是MPCVD單晶金剛石生長領(lǐng)域的熱點問題。朱嘉琦教授在報告中詳細介紹了金剛石合成方法及原理、MPCVD金剛石合成裝備、高質(zhì)量金剛石晶體材料合成工藝、金剛石半導(dǎo)體器件應(yīng)用等內(nèi)容，為高品質(zhì)單晶金剛石的合成指明了方向。
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哈爾濱工業(yè)大學(xué)朱嘉琦教授作《高品質(zhì)MPCVD金剛石單晶材料、裝備及半導(dǎo)體應(yīng)用》報告
天元航材（營口）科技股份有限公司副總經(jīng)理齊永新重點介紹了六方氮化硼和立方氮化硼的結(jié)構(gòu)特點、性能及應(yīng)用領(lǐng)域。同時，對國內(nèi)外氮化硼生產(chǎn)企業(yè)以及產(chǎn)能分布情況、六方氮化硼性能指標(biāo)對立方氮化硼制備的影響、氮化硼在第四代半導(dǎo)體中的應(yīng)用研究進展進行介紹。
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天元航材（營口）科技股份有限公司副總經(jīng)理齊永新作《氮化硼材料性能及應(yīng)用》報告
隨著電子產(chǎn)品向更高集成化、小型化、智能化進展，電子元器件面臨功率增加和熱流密度上升的挑戰(zhàn)。金剛石以其超高熱導(dǎo)率，成為熱管理的理想材料。李高金董事長對金剛石散熱技術(shù)的原理以及其在電子設(shè)備、航空航天、汽車行業(yè)和其他工業(yè)領(lǐng)域的具體應(yīng)用進行了介紹，并指出技術(shù)進步和市場需求將是推動金剛石散熱材料發(fā)展的關(guān)鍵因素。
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安徽碳索芯材科技有限公司董事長李高金作《金剛石在散熱領(lǐng)域內(nèi)的多形態(tài)應(yīng)用》報告
金剛石、碳化硅等半導(dǎo)體材料硬度大，加工困難，激光隱形切片技術(shù)順勢而生。修向前教授在報告中詳細介紹了6-8英寸導(dǎo)電型/4-6英寸半絕緣型碳化硅晶錠的激光切片技術(shù)研究進展，并對金剛石和氮化鎵單晶的激光隱形切片技術(shù)規(guī)�；瘧�(yīng)用進行了展望。
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南京大學(xué)修向前教授作《大尺寸半導(dǎo)體單晶激光切片設(shè)備與技術(shù)研究》報告
針對單晶金剛石拋光，路家斌教授提出了激光誘導(dǎo)石墨化輔助CMP拋光方法，通過激光燒蝕熱效應(yīng)、紫外光催化協(xié)同芬頓反應(yīng)，揭示了單晶金剛石CMP加工的材料去除機理，以優(yōu)化CMP加工參數(shù)，實現(xiàn)單晶金剛石高效率、高質(zhì)量拋光。
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廣東工業(yè)大學(xué)路家斌教授作《單晶金剛石激光輔助CMP加工研究進展》報告
近年來，我國在金剛石輻射探測器的電荷收集性能上取得突破性進展，在器件和材料研究方面正在迅速提升。張金風(fēng)教授在報告中詳細介紹了金剛石輻射探測領(lǐng)域的國內(nèi)外研究進展，及西安電子科技大學(xué)在金剛石輻射探測器和材料領(lǐng)域取得的重要進展。
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西安電子科技大學(xué)張金風(fēng)教授作《金剛石輻射探測器級材料制備和器件性能研究》報告
魏秋平教授在報告中指出了摻硼金剛石（BDD）電極材料大面積制備的技術(shù)瓶頸與解決方案。同時，對BDD電極電化學(xué)氧化降解高危廢水的應(yīng)用現(xiàn)狀，以及應(yīng)用于高危廢水處理的電化學(xué)資源再生與回收系統(tǒng)進行了介紹。
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中南大學(xué)魏秋平教授（線上）作《硼摻雜金剛石電極的調(diào)控與電化學(xué)工程應(yīng)用》報告
當(dāng)前，半導(dǎo)體設(shè)計和制造的創(chuàng)新正在推動新的顛覆性技術(shù)：5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、電動汽車、先進的國防和安全能力。Element Six亞洲戰(zhàn)略業(yè)務(wù)總監(jiān)秦景霞在報告中介紹了如何利用CVD、HPHT金剛石的卓越特性（硬度、導(dǎo)熱、光電、量子等）在半導(dǎo)體行業(yè)中實現(xiàn)其綜合應(yīng)用，涵蓋了芯片設(shè)計、制造（前端襯底加工、后端裝配、封裝、測試）以及電子設(shè)備成品制備。
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Element Six（元素六）亞洲戰(zhàn)略業(yè)務(wù)總監(jiān)秦景霞作《金剛石在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用》報告
針對難加工碳基材料（如金剛石、類金剛石等）的高硬度、強化學(xué)惰性等特點，戴媛靜教授在報告中對國內(nèi)外行業(yè)發(fā)展水平和科研情況進行了調(diào)研，并采用模擬計算、實驗研究等手段，對SiC/DLC、單晶金剛石的原子級去除機理和工藝路徑進行了探討，為金剛石襯底材料的高效制造提供可能的技術(shù)支撐。
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清華大學(xué)天津高端裝備研究院常務(wù)副所長戴媛靜教授作《難加工碳基材料的原子級去處機理與工藝路徑探討》報告
在新材料及器件的設(shè)計中，多尺度仿真技術(shù)能夠?qū)?fù)雜結(jié)構(gòu)予以簡化。圍繞材料、器件創(chuàng)新與性能優(yōu)化等問題，周俊杰教授基于多尺度仿真方法對其建模分析，進行性能優(yōu)化，尤其是硅基半導(dǎo)體材料的性能，并對多尺度仿真技術(shù)在半導(dǎo)體材料的應(yīng)用進行了展望。
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鄭州大學(xué)周俊杰教授（周倩茹代）作《半導(dǎo)體材料多尺度仿真及性能優(yōu)化》報告
SPS，即放電等離子燒結(jié)技術(shù)，是一種高效、快速、綠色的燒結(jié)技術(shù)，被廣泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、納米材料、復(fù)合材料、功能材料和非晶塊材料等不同領(lǐng)域材料的制備。邊華英在報告中簡單綜述了SPS法金剛石鍍覆研究進展，為金剛石工具的廣泛應(yīng)用提供了解決方案。
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河南建筑材料研究設(shè)計院教授級高工邊華英作《SPS法金剛石鍍覆研究進展》報告
展覽現(xiàn)場精彩瞬間
大會期間，金剛石產(chǎn)業(yè)相關(guān)的多家企業(yè)現(xiàn)場展示了他們的產(chǎn)品，與會代表參觀了企業(yè)展臺，并與企業(yè)界精英、專家進行了面對面地深入交流。
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與會代表參觀企業(yè)展臺
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與會代表面對面交流
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部分參展產(chǎn)品
金剛石作為超寬帶隙半導(dǎo)體材料的一員（禁帶寬度5.5eV），具有聲、光、熱、力、電以及量子等眾多優(yōu)異特性，是研制大功率、高溫、高頻等高性能半導(dǎo)體器件的理想材料，被行業(yè)譽為“終極半導(dǎo)體材料”。“2024半導(dǎo)體行業(yè)用金剛石材料技術(shù)大會”的成功舉辦滿足了產(chǎn)業(yè)上下游技術(shù)交流、信息互通的實際需求，對推動我國金剛石產(chǎn)業(yè)技術(shù)邁向新臺階、實現(xiàn)國產(chǎn)化發(fā)展具有積極的意義。
（中國粉體網(wǎng)鄭州報道/輕言）
