推薦國內碳化硅聚焦環(huán)實力企業(yè)榜單

中國粉體網訊 聚焦環(huán)是放置在晶圓外部、直接接觸晶圓的重要部件，通過將電壓施加到環(huán)上以聚焦通過環(huán)的等離子體，從而將等離子體聚焦在晶圓上以提高加工的均勻性。傳統(tǒng)的聚焦環(huán)由硅或石英制成，隨著集成電路微型化推進，集成電路制造對于刻蝕[更多]