推薦化學機械拋光，金剛石襯底材料高效制造的超精密武器

中國粉體網(wǎng)訊 近些年來，化學氣相沉積（CVD）單晶金剛石在電子學領域的應用令人矚目，這得益于CVD單晶金剛石在生長技術和半導體摻雜技術上的進展。一直以來，成熟的襯底加工技術是半導體材料得以應用的基礎，其中超精密拋光作為晶圓襯[更多]