中國粉體網(wǎng)訊 靜電吸盤在半導體制造工藝的多個環(huán)節(jié)扮演著重要作用�，F(xiàn)代半導體工藝中包含晶圓的清洗、氧化、光刻、刻蝕、沉積等環(huán)節(jié)，每個環(huán)節(jié)中又涉及到多種工序，這其中離子注入、物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）等工序均[更多]
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