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光刻機(jī)

推薦陶瓷：光刻機(jī)納米精度的“終極密碼”

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 以光刻機(jī)為代表的集成電路核心裝備是現(xiàn)代技術(shù)高度集成的產(chǎn)物，涉及光學(xué)、材料學(xué)、計(jì)算機(jī)科學(xué)等40多個(gè)學(xué)科。在60余年的發(fā)展歷程中，光刻機(jī)（包括其零部件）不斷挑戰(zhàn)人類超精密制造裝備的極限，被譽(yù)為“現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花”，[更多]

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