氮化硅晶體有三種晶型,分別是α-Si3N4、β-Si3N4和γ-Si3N4。三種晶型都是以[SiN4]4-四面體為基本結(jié)構(gòu)單元,每個四面體中心是Si原子連接著4個N原子,而4個N原子以共頂點的方式與其他的Si原子連接組成了三[更多]
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