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Saturn 3510品牌
中電科風(fēng)華產(chǎn)地
山西樣本
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產(chǎn)品描述：應(yīng)用于GaN外延片的自動(dòng)化缺陷檢測(cè)。設(shè)備采用點(diǎn)共焦旋轉(zhuǎn)掃描的工作原理進(jìn)行缺陷檢測(cè)，可以自動(dòng)實(shí)時(shí)對(duì)焦和多通道采集數(shù)據(jù)，具有低噪聲和高分辨率成像等優(yōu)勢(shì)，采用基于深度學(xué)習(xí)的自動(dòng)缺陷檢測(cè)算法，晶圓檢測(cè)與數(shù)據(jù)分析能夠并行處理，滿足4、6、8英寸晶圓的生產(chǎn)檢測(cè)與器件良率提升的需求。
產(chǎn)品參數(shù)：
應(yīng)用范圍：GaN外延片自動(dòng)化缺陷檢測(cè)
可測(cè)晶片尺寸：4,6,8英寸
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