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CsU030 sic晶片宏觀缺陷檢測設(shè)備品牌
中科慧遠(yuǎn)產(chǎn)地
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CsU030 sic晶片宏觀缺陷檢測設(shè)備
CSU030設(shè)備為中科慧遠(yuǎn)針對SiC晶片制程過程中外觀類缺陷進(jìn)行宏觀檢測的缺陷檢測設(shè)備。該設(shè)備運(yùn)用機(jī)器視覺的原理，結(jié)合自研的AI算法平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)各類缺陷的檢測和分類。設(shè)備適用于劃傷類、崩邊、包裹、臟污等人眼可見缺陷的檢測，并能夠區(qū)分正反面的劃傷，以定義不同的管控規(guī)格。
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